판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670484

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 반도체 웨이퍼의 높은 정확도, 높은 처리량을 처리하도록 설계된 에처/애셔입니다. 장비는 산업 등급이며, 최대 강성과 진동 감쇠를위한 무거운 듀티 프레임이 있습니다. 온도 제어 기술, 폐쇄 루프 제어 시스템 및 변조 온도 조절이 있습니다. 이 장치에는 또한 로봇 암 (robot arm) 이 있으며 웨이퍼와 가공소재의 자동 로드/언로드가 가능합니다. etcher/asher 는 작업을 관리하고 운영 다운타임을 최소화하는 포괄적인 제어 장치 (control unit) 를 제공하는 고급 PLC 소프트웨어에서 실행됩니다. 웨이퍼 표면에 대한 ± 0.1-0.7um (마이크로 미터) 범위의 프로세스 반복 성과 정확도를 제공 할 수 있습니다. 텔 인디플러스 (TEL INDYPLUS) 의 고급 증기 에칭 기술은 스토리지 불안정성을 최소화하고 깨끗한 표면을 만드는 기능을 갖추고 있습니다. 이 장치는 다양한 에칭 프로세스를 위해 설계되었습니다. 다양한 가스를 처리 할 수 있고, 다양한 에칭 속도를 제공하고, 고정밀 에칭 (etching) 미세 구조를 제공합니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS는 EPA를 준수하며 최첨단 방출 감소 기술을 갖추고 있습니다. 여기에는 저류 및 재활용 시스템, 플라즈마 변환 및 정제 시스템, 이중 누출 감지기가 포함됩니다. ··· 그것 은 오염 물질 을 포착 하여 저장 할 수 있어서, 그 지방 환경 에 들어가지 못하게 한다. 이 기계에는 위험 물질 (Hazardous Material) 과 관련된 위험을 최소화하기 위해 설계된 다양한 안전 (Safety) 기능이 포함되어 있습니다. TOKYO ELECTRON Indy Plus에는 백업 도구, 비상 정지 버튼, 무환기 자산 및 자동 모니터링이 있습니다. 이 장치는 성능 수준을 지속적으로 모니터링하여 문제를 신속하게 감지합니다. 마지막으로 TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS는 사용 및 유지 보수가 쉽습니다. 터치 스크린 휴먼 머신 인터페이스 (touch-screen human-machine interface) 를 사용하여 사용자는 최소한의 노력과 시간으로 모델을 설정하고 제어 할 수 있습니다. 또한 모든 구성 요소를 쉽게 액세스할 수 있어 유지 보수 작업을 신속하게 수행할 수 있습니다.