판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670483

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus etcher는 에치, 이방성 에치 및 표면 청소 응용 프로그램을 위해 설계된 최첨단 반도체 처리 도구입니다. 이 장비는 산화물 에치, s- 레이어 에치, 구리 에치, 기타 고급 에치 및 청소 작업과 같은 반도체 프로세스에서 최대 정밀도 및 신뢰성을 제공합니다. 독보적인 설계 철학은 최첨단 (State-of-art) 기능과 기술을 하나의 패키지로 통합하여 전체 프로세스를 간소화하고 TCO (총 소유 비용) 를 절감하는 동시에 효율성과 비용 절감 효과를 제공합니다. TEL INDYPLUS (TEL INDYPLUS) 는 컴팩트 한 패키지로 구성되어 있으며 기존 Cleanroom 환경에 쉽게 통합되도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 자동 제어, 안정적인 모니터링 및 유연한 구성 옵션이 포함되어 있습니다. 또한 동적 압력 제어, 고속 회전, 확장 된 RF 전원 범위 조정, 소프트웨어 업그레이드 호환성, 더 높은 정확성과 반복 성을 위한 간단한 레시피 제어 (recipe control) 등이 있습니다. 최첨단 에처는 효율적인 가스 전달 기계를 갖추고 있으며 SF6, CHF3, CF4, C4F8, O2 및 Ar과 같은 광범위한 반응성 가스를 제공합니다. 파퍼를 정확한 각도로 유지하기 위해 디지털 제어 정전기 척 (digitally-controlled electrostatic chuck) 을 사용하고 다양한 에칭 및 서피스 클리닝 응용 프로그램에 대해 균일 한 처리 매개변수를 제공합니다. 이 도구의 내부 RF 생성기 (Internal RF Generator) 는 최대 600W의 전력 범위를 제공하며, 프로세스 결과를 최적화하도록 쉽게 조정할 수 있습니다. 강력한 고전압 발전기 (HV) 를 추가하면 에치 레시피 (Etch Recipe) 를 맞춤 조정하여 효율성을 극대화할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS 에처에는 이온 억제기, 정밀 온도 조절, 목표 압력 제어 및 3D 레이저 간섭계 (3D Laser Interferometer) 와 같은 다양한 고급 기능이 포함되어 있어 정확성과 반복성이 향상됩니다. 이 기능은 웨이퍼 폐기물을 줄이고 보다 안정적인 최종 제품의 품질을 보장합니다. 또한 내장형 클리너는 처리 주기 (processing cycle) 사이의 웨이퍼를 청소하여 웨이퍼의 무결성을 유지하는 데 도움이됩니다. TOKYO ELECTRON Indy Plus etcher는 반도체 에칭 및 표면 청소 응용 분야를 위해 매우 안정적이고 비용 효율적인 솔루션입니다. TCO (총소유비용) 를 유지하면서 가장 높은 처리 요구 사항을 충족할 수 있는 일체형 솔루션을 제공합니다. 이 자산은 기존 Cleanroom 자동화 시스템과 쉽게 통합될 수 있으며, 대용량/비용에 민감한 제조 프로세스에 적합합니다.