판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670482
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텔/도쿄 일렉트로닉 인디 플러스 (TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus) 는 에처 (echer) 또는 애셔 (asher) 로, 정확한 패턴 특성을 웨이퍼/기판에 에칭할 수 있습니다. 이 장비는 반도체, 태양 광전자 및 관련 웨이퍼 프로세싱과 같은 마이크로 일렉트로닉 장치의 제작에 필요합니다. 기판을 정확하게 에치하기 위해 전자 빔 저항 패턴 (electron beam resist patterning) 프로세스를 사용하며 모든 디자인의 우수한 품질의 패턴을 생산할 수 있습니다. TEL INDYPLUS는 전자 빔 소스를 사용하여 전자 웨이퍼를 저항적으로 에칭합니다. 이 장비는 최소 왜곡과 수차로 고정밀도 (high-precision patterning) 를 보장하도록 신중하게 설계되었습니다. 이를 달성하기 위해 전자 빔 소스 (electron beam source) 는 원하는 에너지의 균일 하고 안정적인 빔을 생산하도록 설계되었습니다. 그런 다음, 세밀하게 집중된 전자 빔을 사용하여 정확하게 패턴 화 된 저항 필름을 웨이퍼에 에칭한다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS는 기판에 패턴을 만드는 고급 플라즈마 에칭 프로세스를 특징으로합니다. 이 과정은 독특한 플라즈마 기반 가스 (plasma-based gase) 세트가 지원하는 균형 잡힌 화학을 기반으로합니다. 이러한 가스는 에칭 결과가 항상 최적화되도록 정확하게 혼합됩니다. 이 과정은 잘 제어 된 온도 조건에 의해 더욱 보완되어, 에칭 과정의 최대 효율성을 초래합니다. INDYPLUS는 다양성과 사용자 친화적 인터페이스를 염두에 두고 설계되었습니다. 직관적이고 사용하기 쉬운 터치스크린 인터페이스 (touchscreen interface) 를 통해 수많은 에칭 주기를 빠르고 정확하게 수행할 수 있습니다. 이 인터페이스는 또한 프로세스 매개변수 모니터링에서 시각적 피드백 (visual feedback) 에 이르기까지, 에칭 프로세스에 대한 풍부한 피드백을 제공합니다. 따라서 사용자는 각 에칭 주기의 진행 상황을 쉽게 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로 TEL INDY PLUS는 마이크로 일렉트로닉 장치 및 웨이퍼 프로세싱 제작을위한 이상적인 에칭/애시닝 솔루션입니다. 이 고정밀 에칭 장치는 모든 디자인에서 정확한 패턴을 만들 수 있으며, 직관적인 터치 스크린 인터페이스 (touchscreen interface) 와 최적의 에칭 결과를 위한 균형 잡힌 화학 (balanced chemistry) 으로 보완됩니다.
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