판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670481

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 고급 반도체 제작 응용 프로그램을 위해 설계된 에처/애셔 장비입니다. TEL INDYPLUS (TEL INDYPLUS) 에는 특수 소프트웨어, 컴포넌트 및 기능이 장착되어 있으며, 기판에 피쳐를 에칭 및 ashing 할 때 극도로 정밀합니다. 에칭의 첫 번째 단계는 기판 준비입니다. 도쿄 전자 인디 플러스 (TOKYO ELECTRON INDY PLUS) 는 커스터마이징 가능한 기판 홀더를 특징으로하며, 에칭 전에 칩의 올바른 위치를 배치하고 조정할 수 있습니다. 이것은 최소 잔류 독성 분말로 최적의 결과를 보장합니다. 기판이 제자리에 있으면, 에치는 처음에 전통적인 점성 석영 또는 ICP (Inductively Coupled Plasma) 프로세스를 사용하여 트리거됩니다. 쿼츠 에치 프로세스 (quartz etch process) 동안, 가스 압력, 흐름 속도 및 주파수와 같은 플라즈마 구성 매개변수가 최대화 된 에치 레이트를 허용하도록 조정됩니다. ICP 공정에서, 파동의 압력, 주파수, 모양은 가장 높은 에칭 속도를 유도하기 위해 조절된다. TOKYO ELECTRON INDYPLUS에는 에칭 조건을 최적화하기 위해 여러 개의 고온 가스 인젝터가 장착되어 있습니다. 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스의 고급 온도 제어를 통해 완전히 사용자정의된 결과를 얻을 수 있습니다. 폐기물 을 방지 하기 위해, "트랩 '장치 는" 에칭' 과정 중 에 배기 가스 를 격리 하고 처리 하여 환경 에 미치는 영향 을 최소화 시킨다. INDYPLUS\' 내장 센서를 사용하면 에칭 속도, 에칭 온도, 기판 특성을 정확하게 모니터링하여 에처리를 완전히 제어할 수 있습니다. 실시간 데이터 로깅은 모든 변수에 사용할 수 있으며, 나중에 검토할 수 있도록 다운로드할 수 있습니다. "에칭 '과정 이 끝난 후, 기판 은 건조 또는 습식" 애싱' 과정 으로 청소 된다. 이 프로세스는 에칭의 품질을 결정하고 원하지 않는 잔기를 제거합니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS (TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS) 는 통합 된 잔류 탐지 기능을 제공하며, 필요한 경우 기판을 제거하거나 더 세척할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Indy Plus etcher/asher 장치는 고급 반도체 장치의 제작 및 에칭을위한 혁신적인 도구입니다. 고급 구성 요소 및 맞춤형 옵션을 갖춘 INDY PLUS (INDY PLUS) 는 모든 고급 제작 프로세스에 적합한 에처/애셔 머신입니다.