판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670480

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 반도체 및 MEMS 장치 제조에 사용되는 에처/애셔입니다. TEL INDYPLUS (TEL INDYPLUS) 는 엄격한 프로세스 제어 하에서 다양한 재료를 에치하여 높은 처리량을 제공하는 고급 도구입니다. 화학적 에칭 기술과 물리적 에칭 기술의 고급 조합을 활용하여 TOKYO ELECTRON INDY PLUS (TOKYO ELECTRON INDY PLUS) 는 두 세계의 최고를 제공하여 매우 정확한 결과를 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS (TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS) 에는 다양한 재료와 함께 사용할 수있는 다양한 기능이 있습니다. 습식 에칭과 건식 에칭을 모두 지원하며 금속, 중합체, 실리콘, 알루미늄 산화물, 유전체 등 다양한 재료를 에치 할 수 있습니다. 이를 통해 MEMS 제작뿐만 아니라 클래식 반도체 응용 프로그램 모두에 이상적입니다. TEL Indy Plus에는 다양한 컨트롤 및 기기가 장착되어 있어 정확한 에칭 결과를 보장합니다. 그것 은 "플라즈마 '실 의 온도 와 힘 을 정확 하게 조절 하는 한편, 안정 된 작업 환경 을 유지 할 수 있다. 또한, 다른 기판의 요구 사항을 충족시키기 위해 챔버 압력을 쉽게 조정 할 수 있습니다. 이 도구는 부하 용량이 높은 4축 웨이퍼 처리 시스템 (4축 웨이퍼 처리 시스템) 을 갖추고 있어 정확도가 가장 높습니다. 여기에는 MEMS 구조와 같은 복잡한 패턴을 정확하게 에칭하는 데 사용할 수있는 2 차원 스캔 패턴 기능이 포함됩니다. 또한, 전체 웨이퍼 표면에 균일 한 에칭을위한 2 개의 전자 홍수 총이 특징입니다. 그것 은 "페이브 '의 공간 요구량 을 최소화 하는" 콤팩트' 한 "디자인 '을 가지고 있으며, 내구성 있는 건축물 은 확장 된 용도 를 유지 하도록 설계 되었다. 또한, 저기압 (low base pressure) 을 자랑하여 오염 위험을 감수하지 않고 재료를 빠르고 정확하게 에치 할 수 있습니다. 인디 플러스 (Indy Plus) 는 오염 위험이 낮을 뿐만 아니라 사용하기 쉬운 그래픽 인터페이스를 자랑합니다. 이렇게 하면 보다 효율적인 작업을 수행할 수 있으며, 인터페이스를 통해 실시간 데이터 및 설정 (settings) 모니터링이 가능합니다. 또한, TEL INDY PLUS는 프로세스 라인의 다른 장비와 통합하여 자동 에칭 (etching) 을 가능하게합니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS는 광범위한 반도체 및 MEMS 제조 응용 분야에 이상적인 에처/애셔입니다. 다양한 기능과 정확한 제어 기능을 갖춘 TOKYO ELECTRON INDYPLUS (TOKYO ELECTRON INDYPLUS) 를 통해 가장 정밀하게 처리량이 높은 장치 제작이 가능합니다.