판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670479

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 모든 처리 프로젝트에 정확하고 속도를 제공하는 에처/애셔입니다. 이 기계는 정확성과 처리량이 높은 고정밀도 에칭 (etching) 프로세스를 수행할 수 있습니다. TEL INDYPLUS는 가스 소비가 적고 선택성이 좋은 빠른 에칭을 가능하게하는 하이브리드 전기 화학 (무전기 증착) 기술을 사용합니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 금속, 절연체 필름 및 인쇄 회로 보드를 포함한 다양한 재료의 정밀 에칭을 위해 특별히 설계되었습니다. 마이크로 몰딩 기술로, TOKYO ELECTRON INDY PLUS는 고가로 비율 기능의 에칭 및 증착을 0.2 "m '까지 제어 할 수 있습니다. 이 다용도 장치는 프로세스 안정성과 반복성을 향상시킵니다. 또한 인디 플러스 (Indy Plus) 는 에칭 프로세스를 쉽게 설정하고 프로그래밍할 수 있도록 사용자 친화적 인 인터페이스를 제공합니다. 기계의 프로세스 옵션에는 시간 및 현재 제어 프로그램, ADL (automatic deposition limit) 제어 프로그램 및 기타 고급 제어 기능이 포함됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS는 또한 임의의 각도, 교차 슬릿 및 계단 에치를 포함하여 최대 16 유로의 에칭 레이어를 지원합니다. INDYPLUS에는 180nm ~ 65nm 기술 노드의 호환성을 지원하는 반도체 프런트엔드 모듈이 장착되어 있습니다. 프런트엔드 모듈은 알칼리 에칭, 사전 패턴 플라즈마 에치 및 사후 에치 (post-etch) 클리닝 프로세스에 사용됩니다. 이 기능을 사용하면 DC 전압 에칭 및 펄스 RF/DC 에칭 프로세스를 최적화할 수 있습니다. TEL Indy Plus에는 챔버를 깨끗하게 유지하고 압력을 제어하는 챔버 콘센트 시스템이 포함되어 있습니다. 이 "시스템 '은 정상 작동 온도 와 압력 을 유지 하는 데 도움 이 되며, 이것 은 공정 의 결함 을 불러오는 요인 들 을 피하는 데 도움 이 된다. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS에는 일관된 결과를 위해 웨이퍼 에칭 균일성을 최적화하는 고급 진공 시스템도 있습니다. 에칭 수율을 향상시키기 위해 자동 웨이퍼 스테이지 기울기 (tilt) 및 회전 도구 (tool-to-tool) 를 사용할 수도 있습니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 뛰어난 균일성, 안정성 및 영화 특성을 가지고 있으며, 이는 다양한 에칭 프로세스에 대한 신뢰할 수있는 선택입니다. TOKYO ELECTRON INDYPLUS는 설치와 작동이 쉽습니다. 비용 효율적인 솔루션이며 생산 라인 또는 R&D 연구소에 적합합니다.