판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293663052

TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus
ID: 293663052
Furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 정밀 금속 에칭 및 청소에 이상적인 고성능, 저정비 에처/애셔입니다. 작은 설치 공간, 효율적인 처리 시간, 다양한 고급 (advanced) 기능을 제공하는 컴팩트한 디자인이 특징입니다. 텔 인디 플러스 (TEL INDYPLUS) 는 12 인치 (300mm) 로드 록 눈물 방울 모양의 챔버를 장착하여 대부분의 실험실과 제조 설정에 쉽게 맞출 수 있습니다. 또한 TEL 독점 LRMF (Linear Resonance Magnetic Field) 기술로보다 균일하고 정확한 에치를 제공합니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS (TOKYO ELECTRON INDY PLUS) 의 고성능 설계를 통해 더 정확한 처리 시간을 단축하여 대규모 생산 실행에 이상적입니다. 인디 플러스 (INDY PLUS) 는 또한 저온 호환성, 동종 에치를 보장하는 회전 가능한 소스 블레이드 홀더, 고급 가스 전달 시스템 등 다양한 고급 기능을 제공합니다. 사용자 친화적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 설치 및 프로세스 모니터링을 간단하고 직관적으로 수행할 수 있습니다. 또한, 인디 플러스 (Indy Plus) 에는 다파장 광학 종점 탐지가 장착되어 있으며, 다양한 두께와 두께 변형을 가진 대상 필름을 감지 할 수 있습니다. 마지막으로, TOKYO ELECTRON INDYPLUS는 "챔버 클리닝 방법론 (chamber cleaning methodology)" 과 같이 도쿄 전자 (TOKYO ELECTRON) 로 설계되었습니다. 이것은 매우 균일 한 에치를 보장하고 대규모 생산 실행에 대한 오염을 최소화합니다. TEL INDY PLUS (TEL INDY PLUS) 는 고도의 처리량으로 정확한 결과를 제공 할 수있는 고급적이고 신뢰할 수있는 에처/애셔입니다. 직관적인 인터페이스, 유지 보수 (low-maintenance) 설계 및 고급 기능으로 인해 반도체 처리, 도량형에 이르기까지 다양한 애플리케이션에 적합합니다.
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