판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293649535

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 반도체 및 장치 응용 분야의 고급 기판을 처리하는 데 사용되는 에처/애셔 장비입니다. TEL INDYPLUS (TEL INDYPLUS) 는 매우 정확한 패턴화 프로세스를 제공하며, 고급 소프트웨어 알고리즘을 사용하여 전체 프로세스 동안 에칭 및 애싱 프로세스를 최적화합니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS 시스템은 고 종횡비 에칭, 언더컷 에칭, 금속 산화물 반도체 에칭 및 표면 매끄러운 에칭과 같은 광범위한 프로세스를 처리하도록 설계되었습니다. 그것은 2 개의 하위 소스와 2 개의 독립적 인 DC 플라즈마 소스와 함께 넓은 영역 증착 소스를 특징으로합니다. 이 이중 소스는 단일 소스 시스템보다 높은 수율을 제공하여 대규모 생산에 이상적입니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS (TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS) 를 제어하는 소프트웨어는 에칭 및 애싱 과정에서 기질의 완전한 제어 및 정확한 패턴을 보장하도록 설계되었습니다. 전체 에칭 및 애싱 공정에 대한 완전한 신경 네트워크 제어를 위해 ActiveX SDK를 사용합니다. 이렇게 하면 프로세스 중에 모니터링되는 피드백을 기반으로 동적 매개변수 설정을 설정할 수 있습니다. 또한 INDY PLUS (INDY PLUS) 는 3단계 레시피 프로그래밍 사용자 인터페이스를 쉽게 사용할 수 있는 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스를 제공합니다. 따라서 장치의 작동이 간편하고 간단해집니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS에는 처리량을 극대화하고 위험을 최소화하는 다양한 고급 프로세스, 안전 및 보안 기능이 포함되어 있습니다. 온보드 안전 기계에는 모든 주요 공정 챔버에 대한 독립적 인 온도 모니터링이 포함됩니다. 또한, 내장 가연성 가스 감지 도구, 저전압 보호 및 저류 감지 자산이 포함됩니다. 이 모든 기능은 TEL Indy Plus 모델이 안전하고 안정적으로 실행되도록 설계되었습니다. 또한, 보안 단일 사용자 액세스 장비로 구성되며, 시스템에 대한 무단 액세스를 보호합니다. 전반적으로 TEL INDY PLUS (TEL INDY PLUS) 는 안정적이고 고급 에칭 및 애싱 장치로서 전체 프로세스의 효율성을 극대화합니다. 인디 플러스 (Indy Plus) 는 안전 및 보안 기능을 통해 생산 및 연구 애플리케이션에 이상적인 선택입니다.