판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293649534

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 정확한 결과를 제공하기 위해 설계된 여러 기능을 갖춘 고급 에처/애셔입니다. 이 정확한 에칭 장비는 최신 기술과 일치하는 300mm, 6 챔버 디자인으로, 최고 수준의 반복 성과 균일성을 제공합니다. 텔 인디플러스 (TEL INDYPLUS) 는 4k 해상도로 에칭 프로세스를 시각화 할 수있는 40 메가픽셀 디지털 이미징 카메라를 포함하여 시각화 및 정밀 에칭을위한 고해상도 이미징 장비를 갖추고 있습니다. 5 개의 지역 난방 스테이션은 온도를 균등하게 분배하고 균일 한 에칭 전력을 제공합니다. 이중 단계 RF 신호는 에칭 프로세스 전반에 걸쳐 안정적이고 반복 가능한 바이어스 조건을 생성합니다. 공기 처리 (air handling) 를 포함한 전체 환경 제어 시스템 (environmental control system) 도 안정적이고 깨끗한 에칭 환경을 제공하도록 최적화되었습니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS 장치는 완전 자동화 모드로 작동하여 에칭 프로세스가 쉽고 효율적입니다. 에칭 레시피의 모든 단계는 높이, 온도, 가스 압력 및 기타 매개변수를 측정하는 여러 광학 센서로 모니터링됩니다. 이를 통해 단계 시간과 에칭 깊이에서 정확한 반복성이 가능합니다. 기계는 또한 낮은 열 확산을 보장하는 진공 도구 (vacuum tool) 를 자랑하며, 에칭 중 온도의 편차를 제거합니다. Indy Plus etcher/asher는 설치와 유지 관리가 용이하도록 설계되었습니다. 고급 소프트웨어 제품군에는 직관적인 운영자 인터페이스, 사용자 친화적인 데이터 수집 팁, 원격 진단 기능 및 문제 해결을 위한 원격 액세스 (옵션) 가 포함되어 있습니다. 이 자산은 또한 다양한 유형의 프로세스 레시피에 대해 미리 정의된 프로시저 (procedure) 를 제공하여, 쉽게 시작할 수 있고 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 다양한 기능과 기능 덕분에 TOKYO ELECTRON INDYPLUS Etcher/asher는 정확한 에칭 결과를 달성하기위한 필수 기계입니다.