판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293649527

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 고급 반도체 생산 장비의 글로벌 공급 업체 인 TEL (TOKYO ELECTRON) 이 개발 한 유명한 에칭/애싱 장비입니다. 이 최첨단 시스템은 플라즈마 활성화 화학 종을 통해 광범위한 자주 사용되는 반도체 물질을 정확하게 패턴화, 에치 (etch), 마이크로나이즈하도록 설계되었습니다. 여기에는 폴리 실리콘, 폴리 이미 드, 질화 실리콘, 질화물 에치 및 폴리 도핑 실리콘이 포함됩니다. TEL INDYPLUS 에칭/애싱 프로세스에는 사전 에치와 사후 에치의 두 단계가 포함됩니다. 사전 에치 프로세스는 유도 결합 플라즈마 (ICP) 소스를 사용하여 반도체 재료의 에칭 구성에 필요한 이온을 생성합니다. 이 단계는 기판의 모든 대상 서피스에 균일하고 고품질 에칭을 제공합니다. 에치 후 공정의 경우 TOKYO ELECTRON INDY PLUS 장치는 인상적인 디지털 강화 파생 이방성 (DEDA) 을 특징으로합니다. 이 귀중한 기능은 기판의 대상 서피스에 대한 매우 정확한 에칭 (etching) 을 제공합니다. 이 정밀 에칭을 통해 INDYPLUS 기계는 최대 5 나노미터의 해상도를 달성 할 수 있습니다. 또한 INDY PLUS (INDY PLUS) 는 천공 기반 형상을 사용하므로 에칭 영역으로의 가스 흐름이 매우 균일합니다. 이 균일성은 전체 프로세스 전체에서 재생성 가능한 에칭 패턴을 보장합니다. Indy Plus에는 에칭 패턴을 검사하는 고해상도 현미경 도구도 제공됩니다. 실시간 이미지 처리 (Real-Time Imaging) 기능을 통해 사용자는 에칭 프로세스의 진행 상황을 모니터링하고 결함 및 기타 결함을 확인할 수 있습니다. 추가 안전 기능으로서, TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS 자산에는 셔터가 닫힐 때 조사 방사선이 장비를 통과하는 것을 방지하는 셔터 감지 모델도 포함되어 있습니다. 도쿄 일렉트로닉 인디 플러스 (TOKYO ELECTRON Indy Plus) 시스템은 다양한 기판에서 미세 구조 및 나노미터 스케일 기능을 제작하기위한 완벽한 플랫폼을 제공하며, 높은 반복성과 정확도를 제공합니다. 첨단 기술과 에칭 (etching) 기능을 통해 탁월한 성능을 제공하며 고급 리소그래피, MEMS 장치, 집적 회로 개발 (integrated circuit development) 등 다양한 어플리케이션에 적합합니다.