판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293649523

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 반도체 제조 산업의 응용 분야를 위해 설계된 고급 에처/애셔입니다. 정밀 빔 제어 (precision beam control) 기능을 갖춘 매우 정교한 장비로 다양한 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 공정이 가능합니다. 이 시스템은 DABC (direct-axis beam control) 및 IABC (inverse-axis beam control) 기능을 모두 사용합니다. 또한 고속 이미징 장치 및 독점 석판화 소프트웨어가 장착되어 있습니다. TEL INDYPLUS 머신은 배치 및 단일 웨이퍼 작업 모드를 모두 지원합니다. 배치 작업 모드에서는 한 번에 최대 200 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 이 모드를 사용하면 수동 로드 없이 자동화된 프로세스를 수행하여 처리량 및 생산성을 향상시킬 수 있습니다. 이 도구에는 균일 한 에치 (etch) 및 재 (ash) 결과를 보장하는 고급 레벨링 기능도 있습니다. 에셋에는 UHP (Uniform High Plasma) 챔버 (Chamber) 라는 전용 챔버 디자인이 포함되어 있습니다. 이 챔버는 플라스마 소스의 수를 늘리고 대칭 플라즈마 압력 프로파일을 만들어 에치 및 재 프로세스를 제어합니다. 이것은 고르지 않은 에칭과 재 (ashing) 의 가능성을 감소시켜 재생성과 생산성을 향상시키는 데 도움이됩니다. 또한 TOKYO ELECTRON INDY PLUS 모델에는 C2E (Cleaning to Etch) 기능이 장착되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 클리닝, 에칭, 애싱 (ashing) 과 같은 일련의 프로세스 단계를 자동으로 설정하여 효율성을 향상시킬 수 있습니다. 인디 플러스 장비는 또한 최대 안전을 위해 설계되었습니다. 공정 환경 (온도, 압력 등) 을 모니터링하는 알람 시스템이 함께 제공됩니다. 이 장치에는 비상 사태의 경우 자동 차단 기능도 있습니다. 전반적으로 INDYPLUS 기계는 반도체 제조를 위해 설계된 고급적이고 고효율 etcher/asher입니다. 이 제품은 정밀 빔 제어, 고속 이미징, Uniform High Plasma 챔버, Cleaning to Etch 기능, 프로세스 작업 모니터링을 위한 경보 도구 등을 제공하여 모든 애플리케이션의 안정적이고 신뢰할 수 있는 자산입니다.