판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293640263

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 고급 반도체 처리를 위해 설계된 에처/애셔입니다. 표준 TEL 인디 (TEL Indy) 모델로의 업그레이드이며 정밀 진공실, 공정 스테이션 및 자동 프로세스 컨트롤러로 구성됩니다. 이 에처/애셔는 반도체 장치의 제조에 사용되는 건식 에칭 프로세스를 용이하게합니다. TEL INDYPLUS는 리소그래피, 포토 esist ashing, 드라이 에칭, 이온 임플란테이션 및 이온 빔 표면 처리에 사용됩니다. 이 작업은 이러한 작업에서 사용되는 가스 및 혼합물 (mixture) 을 사용하여 작업할 수 있으며, 서브미크론 패턴 해결을위한 고속, 고정밀 글로벌 정렬을 제공합니다. 이 etcher/asher는 고급 프로세스를 사용하여 고품질 서피스가 있는 여러 영역을 균일하게 etch합니다. 고속 글로벌 정렬 현미경, 200nm 스테이지 이동 정확도 및 드리프트 보상 기능이 특징입니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS는 또한 에칭 프로세스에 대한 뛰어난 반복성과 병렬 에칭에 대한 향상된 처리량을 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS의 챔버는 10mTorr 이하의 기본 압력을 달성 할 수 있으며 표준 Indy etcher 또는 기타 etcher/asher 모델과 비교할 때 대피 시간이 짧습니다. 챔버에는 AC 유도 마그네트론 스퍼터링 장치와 열 보조 CVD 금속 증착 장치가 장착되어 있습니다. 도쿄 전자 인디 플러스 (TOKYO ELECTRON Indy Plus) 는 최대 300mm 웨이퍼를 수용 할 수 있으며 가스 여과 시스템 (gas filtration system) 과 여러 가스 전달 장치를 갖춘 가스 샤워 장비를 통해 깨끗한 환경을 유지합니다. 이 기계 는 약실 에 오염 이 없도록 하며, 따라서 정확도 와 처리량 을 "에치 '화 시킨다. 인디 플러스 (Indy Plus) 는 고가로 비율 에칭을 처리 할 수 있으며 최대 수백 나노미터 두께의 에칭을 수행 할 수도 있습니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 여러 재료를 한 번에 처리할 수 있으므로 다양한 프로세스 응용 프로그램에 적합합니다. 또한 INDY PLUS는 모든 범위의 IPEC 에칭 화학 물질과 호환됩니다. 인디 플러스 (INDYPLUS) 는 사용자 친화적이며 개선을 위해 업그레이드 가능한 디자인을 제공하여 다재다능한 에처/애셔 (etcher/asher) 를 찾는 사람들에게 비용 효율적인 선택입니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 또한 직원 안전을 보장하고 잠재적 인 사고를 예방하기위한 안전 기능을 갖추고 있습니다.