판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293627973

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 일본 유수의 반도체 장비 회사이자 미쓰비시 UFJ 파이낸셜 그룹 (Mitsubishi UFJ Financial Group) 의 회원 인 TEL이 만든 에처 (asher라고도 함) 입니다. 첨단 에칭 (eching) 과 종합적인 기능을 제공하는 최신 기술을 결합하여 다양한 업계의 고객 요구를 충족합니다 (영문). 텔 인디 플러스 (TEL INDYPLUS) 는 사용하기 쉽고 비용 효율적인 플랫폼에서 고급 기능 크기와 고밀도 평면도의 정밀 에칭을 제공합니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS는 증기 증기-금속 화학 증기 증착 (VMCVD) 공정을 사용하여 인디 플러스 (INDY PLUS) 로 식각 된 포토 esist 또는 다른 층으로 웨이퍼 표면을 코팅하는 석영 냉벽 에처입니다. INDYPLUS는 RIM (reverse ion milling), IM (ion milling) 및 CMP (chemical mechanical planarization) 를 포함한 다양한 에칭 기술을 사용할 수 있습니다. 특정 모델에서는 초당 최대 20,000 Ångstrom (Å/sec) 의 에치 속도를 사용할 수 있으며, 높은 정확도와 해상도를 제공합니다. TOKYO ELECTRON Indy Plus는 고급 프로세스 제어, 디지털 자동화 등 다양한 기능과 옵션을 제공합니다. 온보드 고급 프로세스 제어 시스템 (Onboard Advanced Process Control System) 을 사용하면 Etching 매개변수를 실시간으로 조정하고 Etch 프로세스를 최적화하여 정확성과 반복 가능성을 향상시킬 수 있습니다. 디지털 자동화 (Digital Automation) 는 유연한 오류 확인 기능과 자동화 모듈 (Automation Module) 을 제공하여 사용자가 에치 프로세스를 쉽게 프로그래밍하고 프로세스 변경을 추적할 수 있도록 합니다. 사용자는 TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS의 고급 안전 기능을 이용할 수도 있습니다. 다양한 안전 기능에는 안전 인터 록이있는 동봉 된 챔버, 보호 액세스 패널, 비상 정지 스위치 및 긴급 자동 종료 시스템이 포함됩니다. 인디 플러스 (Indy Plus) 에는 온도와 압력 센서 (pressure sensor) 를 포함한 다양한 진단 기능이 있어 완벽한 에치 결과를 위한 적절한 작동 조건을 보장합니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS는 유지 보수 및 사용자 친화적 운영을 용이하게하도록 설계되었습니다. 정전기 방지 (Anti-Static) 및 진동 방지 (Anti-Vibration) 설계는 기계를 잔해와 먼지 오염으로부터 보호하는 반면, 사용자 친화적 인 인터페이스는 빠르고 쉬운 설정과 작동을 가능하게합니다. TOKYO ELECTRON INDYPLUS는 다양한 TOKYO ELECTRON 진공 관리 시스템과 호환되며, 포괄적이고 유연한 진공 시스템을 제공합니다. 이러한 기능은 3 년 보증과 함께 TEL INDY PLUS를 에칭 요구에 이상적인 선택으로 만듭니다.