판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293627608

TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus
ID: 293627608
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2010
Furnace, 12" Process: ALDZROX Reactor: Boat rotation Furnace: Loading area light: White (LED) Wafer / Carrier handling: Fork material-Al2O3 + Peek Facilities: Furnace exhaust connection poi: Top connection Cooling water connection point: Bottom connection Furnace (Exhaust / Box, Gas / Box: Main-Fab) Power box: Sub-Fab Gas distribution system: IGS Type: IGS 1.125" W-seal rail-mount IGS Maker: FUJIKIN Tubing bends: Bend (Less than 90°) IGS Final filter-PALL IGS Regulator: CKD IGS MFC: AE / Digital IGS Press transducer: NAGANO Gas facilities: Gas VENT connection point: Bottom connection Exhaust VENT connection point: Bottom Connection Gas unit exhaust connection point: Top connection Process gas exhaust connection: Bottom connection Exhaust : Vacuum gage: Press control: MKS (Hot) Capacitance manometer Press monitor: MKS (Hot) Capacitance manometer Pump monitor: MKS (Hot) Capacitance manometer Main valve-CKD-Hi-speed VEC Vacuum pressure controller: CKD-VEC Heater model: Low temperature VMM-56-201 4 Zone/150-600C Without RCU Interface specification, Factory automation system: Carrier ID reader writer type: RF CIDRW Lower load port: Read Interface: Signal tower model: LOUGWB-24-4 Tower as follows: LOUGWB-24-4 (2) LOUGWB-24-3, Default = 1 Signal tower colors: Red / Yellow / Green / Blue Tower as follows: Red / Yellow / Green / Blue (2) Red / Yellow / Green Signal tower: Front Front operation panel MMI and gas flowchart: Gas box and front operation panel Indicator type: Superset Operator switch: Operator access / Orange (Standard) Pressure display unit: MPa / Torr Cabinet exhaust pressure display: Pa No auto shutter Does not include Hard Disk Drive (HDD) 2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 다양한 크기의 웨이퍼를 처리하기 위해 반도체 산업에서 사용되는 강력한 etcher/asher입니다. 이 애셔에는 최첨단 터치 패널과 에너지 절감 (energy-saving) 디자인이 장착되어 있어 전기 비용을 절감하고 빠른 난방 및 냉각 기능을 지원합니다. 또한 메모리에 여러 레시피가 저장되어 있습니다. TEL INDYPLUS는 2 ~ 8 인치 크기의 400mm 및 300mm 웨이퍼 처리가 가능합니다. Cl2 기반 고밀도 이온 빔 에치, 재, 에치 및 애쉬, 폴리 실리콘 필름 에치 및 박막 증착을 포함한 다양한 처리 옵션을 제공합니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS (TOKYO INDY PLUS) 는 또한 향상된 기판 애싱 균일성을 제공하며 에칭 및 애싱 효율성을 최적화하도록 설계된 하이브리드 형 정전기 척 (electrostatic chuck) 을 특징으로합니다. 로봇 팔은 빠른 웨이퍼 전송을 가능하게합니다. 가공실 온도를 유지해 변형을 줄여주는 "적외선 가열 제어 시스템 (infrared heating control system) '을 탑재했다. TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS는 정확한 반복성과 향상된 에칭/애싱 프로파일을 제공하는 특수 디지털 필름 두께 컨트롤러를 사용합니다. 또한 챔버 반환 가스 모니터, 과압 안전 밸브, 안전 인터 록 (Safety Interlock) 등 다양한 안전 기능이 있습니다. 이러한 기능 외에도 INDYPLUS에는 고급 습식 벤치 프로세싱을위한 전용 샘플링 챔버 (sampling chamber) 가 있습니다. 이는 높은 프로브 (Probe) 및 제어의 특성을 테스트하고 측정할 수 있는 깨끗한 환경을 제공합니다. INDY PLUS (INDY PLUS) 는 반도체 업계에서 광범위한 제작 요구를 충족하는 엔트리 레벨, 비용 효율적이지만 강력한 에칭 솔루션입니다. 사용자 친화적이며, 높은 처리량과 정확한 결과를 제공하며, 다양한 유형의 웨이퍼 (wafer) 의 대용량 처리에 이상적입니다.
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