판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293627608
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ID: 293627608
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2010
Furnace, 12"
Process: ALDZROX
Reactor: Boat rotation
Furnace:
Loading area light: White (LED)
Wafer / Carrier handling: Fork material-Al2O3 + Peek
Facilities: Furnace exhaust connection poi: Top connection
Cooling water connection point: Bottom connection
Furnace (Exhaust / Box, Gas / Box: Main-Fab)
Power box: Sub-Fab
Gas distribution system:
IGS Type: IGS 1.125" W-seal rail-mount
IGS Maker: FUJIKIN
Tubing bends: Bend (Less than 90°)
IGS Final filter-PALL
IGS Regulator: CKD
IGS MFC: AE / Digital
IGS Press transducer: NAGANO
Gas facilities:
Gas VENT connection point: Bottom connection
Exhaust VENT connection point: Bottom Connection
Gas unit exhaust connection point: Top connection
Process gas exhaust connection: Bottom connection
Exhaust :
Vacuum gage:
Press control: MKS (Hot) Capacitance manometer
Press monitor: MKS (Hot) Capacitance manometer
Pump monitor: MKS (Hot) Capacitance manometer
Main valve-CKD-Hi-speed VEC
Vacuum pressure controller: CKD-VEC
Heater model:
Low temperature VMM-56-201 4 Zone/150-600C
Without RCU
Interface specification, Factory automation system:
Carrier ID reader writer type: RF
CIDRW Lower load port: Read
Interface:
Signal tower model: LOUGWB-24-4
Tower as follows: LOUGWB-24-4
(2) LOUGWB-24-3, Default = 1
Signal tower colors: Red / Yellow / Green / Blue
Tower as follows: Red / Yellow / Green / Blue
(2) Red / Yellow / Green
Signal tower: Front
Front operation panel
MMI and gas flowchart: Gas box and front operation panel
Indicator type: Superset
Operator switch: Operator access / Orange (Standard)
Pressure display unit: MPa / Torr
Cabinet exhaust pressure display: Pa
No auto shutter
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 다양한 크기의 웨이퍼를 처리하기 위해 반도체 산업에서 사용되는 강력한 etcher/asher입니다. 이 애셔에는 최첨단 터치 패널과 에너지 절감 (energy-saving) 디자인이 장착되어 있어 전기 비용을 절감하고 빠른 난방 및 냉각 기능을 지원합니다. 또한 메모리에 여러 레시피가 저장되어 있습니다. TEL INDYPLUS는 2 ~ 8 인치 크기의 400mm 및 300mm 웨이퍼 처리가 가능합니다. Cl2 기반 고밀도 이온 빔 에치, 재, 에치 및 애쉬, 폴리 실리콘 필름 에치 및 박막 증착을 포함한 다양한 처리 옵션을 제공합니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS (TOKYO INDY PLUS) 는 또한 향상된 기판 애싱 균일성을 제공하며 에칭 및 애싱 효율성을 최적화하도록 설계된 하이브리드 형 정전기 척 (electrostatic chuck) 을 특징으로합니다. 로봇 팔은 빠른 웨이퍼 전송을 가능하게합니다. 가공실 온도를 유지해 변형을 줄여주는 "적외선 가열 제어 시스템 (infrared heating control system) '을 탑재했다. TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS는 정확한 반복성과 향상된 에칭/애싱 프로파일을 제공하는 특수 디지털 필름 두께 컨트롤러를 사용합니다. 또한 챔버 반환 가스 모니터, 과압 안전 밸브, 안전 인터 록 (Safety Interlock) 등 다양한 안전 기능이 있습니다. 이러한 기능 외에도 INDYPLUS에는 고급 습식 벤치 프로세싱을위한 전용 샘플링 챔버 (sampling chamber) 가 있습니다. 이는 높은 프로브 (Probe) 및 제어의 특성을 테스트하고 측정할 수 있는 깨끗한 환경을 제공합니다. INDY PLUS (INDY PLUS) 는 반도체 업계에서 광범위한 제작 요구를 충족하는 엔트리 레벨, 비용 효율적이지만 강력한 에칭 솔루션입니다. 사용자 친화적이며, 높은 처리량과 정확한 결과를 제공하며, 다양한 유형의 웨이퍼 (wafer) 의 대용량 처리에 이상적입니다.
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