판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293596083

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 반도체 장치 제작을 위해 설계된 완전 자동화 에처/애셔입니다. 이 장비는 석영, 실리콘, 알루미늄과 같은 기질 처리에 사용될 수있는 신뢰성이 높은 최첨단 에치/열 산화물 도구입니다. TEL INDYPLUS에는 직관적이고, 사용자에게 친숙한 터치스크린 제어판이 있어 내부 작업, 설정 조건, 문제 해결 등을 손쉽게 모니터링할 수 있습니다. 사용자에게 모든 문제를 알리기 위해 다양한 시스템 경고 (System Alert) 및 경고 (Alarm) 를 설정할 수 있습니다. 공정 제어 가스 분포 장치 (process-controlled gas distribution unit) 와 가공 챔버 내에서 전구체 농도를 샘플링하는 독특한 인시 투 (in-situ) 방법을 활용하여 TOKYO ELECTRON INDY PLUS는 에칭 과정과 가스 위상 화학을 정확하게 제어 할 수 있습니다. TEL Indy Plus에는 2 개의 프로세싱 챔버가 장착되어 있습니다. 첫 번째는 기판 챔버 (substrate chamber) 로, 에치 레이트는 압력과 온도에 의해 제어됩니다. 두 번째는 열 산화제 (thermal oxidizer) 로, 온도와 시간에 의해 산화가 제어 될 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Indy Plus에는 최대 4 개의 기판을 수용 할 수있는 단일 포켓 패널이 있으며, 직경은 2 "~ 6" 사이입니다. 기계는 최고 900 ° C, 최저 -20 ° C의 온도에서 작동 할 수 있습니다. 텔 인디 플러스 (TEL INDY PLUS) 는 얕은 트렌치 격리 (STI) 및 기타 높은 종횡비 에치를 위해 에치 클리닝, 프로파일 링 및 격리 된 에치를 포함하여 단일 실행에서 여러 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 또한, 확산 및 열 산화와 같은 다양한 사후-에치 (post-etch) 과정도 수행 할 수 있습니다. 이 도구에는 가스 배기 가스 배기 가스, 배플 격리, 열 방패 (thermal shield) 와 같은 여러 안전 및 환경 보호 기능도 포함되어 있습니다. 전반적으로, INDYPLUS (INDYPLUS) 는 다양한 장점과 기능을 갖춘 안정적이고 다양한 도구로서, 반도체 제작에 이상적인 옵션입니다. 종합적인 "파라미터 (parameter) '와" 능력 (capability)' 이 있어 정확성과 반복성이 뛰어난 다양한 에치 (etch) 프로세스를 수행할 수 있는 완벽한 선택이다.