판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293596082
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TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 IC (Integrated Circuit) 제조 프로세스에 사용되는 에처/애셔 (Etcher/Asher) 로, 재료를 선택적으로 제거하여 기판에 게이트 전극 및 상호 연결 배선과 같은 기능 패턴을 만듭니다. 낮은 가장자리 거칠기 (low edge roughness) 와 정확한 프로파일 제어로 정확한 피쳐 크기를 달성하는 데 중요한 역할을 하는 도구입니다. 텔 인디 플러스 (TEL INDYPLUS) 는 습식 장비이며, 이는 이온 용해 과정을 사용한다는 것을 의미합니다. 이 시스템은 실리콘, 알루미늄, 붕소 인화물, 석영과 같은 유기 및 무기 물질을 모두 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 여러 개의 레이어를 한 번에, 하단에서 기판 상단까지 에치 (etch) 할 수 있으며, 이는 IC 제조에서 매우 다양한 도구입니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS (TOKYO INDY PLUS) 는 고급 프로세스 제어 (Process Control) 및 기판에 배치 된 작은 기능을 감지 할 수있는 독점적 인 적외선 기능 인식 장치 (Infra-Red Feature Recognition unit) 와 같은 예술 기술의 상태를 갖추고 있습니다. 이 기계는 또한 강력한 에칭 기능과 통합 멀티 제트 이온 빔 임플란테이션 (Multi-Jet Ion Beam Implantation) 및 레이저 머신 (Laser Machines) 덕분에 크기와 모양을 정확하게 확인할 수 있습니다. 인디 플러스 (Indy Plus) 에는 4.3 인치 터치 스크린 패널이있는 사용자 친화적 인 제어 도구가 있으며, 이를 통해 사용자는 다양한 프로세스 조건을 설정하여 간단하고 직관적으로 사용할 수 있습니다. 이 자산에는 프로세스 데이터를 수집하고 각 에칭 단계 (etching step) 에 대한 실시간 피드백을 제공하는 고속 데이터 수집 장치 (High Speed Data Collection Unit) 도 포함되어 있습니다. 또한, 이 모델에는 포획된 가스와 미립자 오염으로 인한 손해로부터 장비를 보호하는 다양한 부식 방지 (anti-corrosion) 조치가 장착되어 있습니다. 여기 에는 "필터 '를 입자화 하고" 에칭' 실 에서 불순물 을 제거 하여 깨끗 하고 정확 한 "에칭 '결과 를 보장 하는 종합 여과 장치 가 포함 된다. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS는 IC 제조에 중요한 도구이며, 정확성과 반복성으로 인해 점점 더 인기를 얻었습니다. 고급 프로세스 제어 (process control) 기능을 비롯하여 가장자리가 낮은 조도 (low edge roughness) 를 갖춘 정확한 기능 크기와 모양을 제공함으로써 최고 품질의 IC 구성 요소를 생산하려는 제작자에게 유리한 옵션을 제공합니다.
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