판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293592996

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 반도체 장치 생산에 사용되는 에처/애셔입니다. 웨이퍼 (wafer) 에 다양한 피쳐를 생성하기 위해 웨이퍼 (wafer) 에 포토 esist 재료의 에치/애쉬 레이어를 사용합니다. 이 공정 은 광석판 촬영 (photolithography) 으로 알려져 있으며, 반도체 장치 제작 의 핵심 단계 이다. TEL INDYPLUS는 VariBeam ™ 단일 열 광학 열을 특징으로하며 뛰어난 성능과 정확도를 제공합니다. 이 열은 정확한 형상의 정확한 에칭이 가능합니다. 높은 해상도, 더 높은 빔 전류 (beam current) 에치 기능, 에치 프로세스 도구 (etch process tools) 의 공통 환경으로의 통합으로 인해 높은 수준의 다용성을 제공합니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS (TOKYO INDY PLUS) 는 또한 25kV 의 고립 된 바이어스 전극, 모니터링을위한 견고한 시스템, 에칭 및 재싱 중 온도 및 대기 제어 등 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 이를 통해 photoresist 레이어의 정확하고 안정적인 에칭 및 재싱이 가능합니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS는 에칭 및 애싱 프로세스가 고품질인지 확인하기 위해 자동 바이어스 교정 및 자동 빔 전류 교정을 갖추고 있습니다. 이러한 기능을 통해 연산자는 대상 전압, 빔 전류, 프로파일을 설정할 수 있으며 인디 플러스 (Indy Plus) 는 자동으로 최적화됩니다. 인디 플러스 (INDYPLUS) 는 최첨단 컴퓨터 제어를 사용하여 에칭 및 애싱 과정에서 온도, 산도 및 압력을 측정하고 조정 할 수도 있습니다. 이를 통해 각 웨이퍼 사이클을 재현 가능하고 균일하게 만들 수 있습니다. TEL Indy Plus etcher/asher는 품질이 가장 높은 정확한 형상을 만들기 위한 완벽한 도구입니다. 이 제품은 다양한 프로세스에서 안정된 작동을 제공하며, 이 기능을 통해 반도체 (semiconductor) 디바이스를 생성할 수 있는 안정적이고 안정적인 툴이 됩니다. TEL은 INDY PLUS etcher/asher를 제공하여 품질 반도체 장치 생산을위한 업계 표준을 설정하는 것을 자랑스럽게 생각합니다.