판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293587429

TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus
ID: 293587429
빈티지: 2010
Furnace 2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus는 높은 수준의 정확성과 반복 성을 유지하면서 생산 처리량을 개선하도록 설계된 에처/애셔입니다. 애셔 (asher) 는 작은 설치 공간을 활용하여 쉽게 설치하고 신속하게 변경할 수 있습니다. 다양한 에칭 프로세스가 가능하며 금속 추적, PCB, MEMS 등 다양한 애플리케이션에 사용할 수 있습니다. TEL INDYPLUS (TEL INDYPLUS) 는 동적, 실시간 피드백 시스템과 재현 가능한 프로세스를 갖춘 빠르고 정확한 프로세스 창을 갖추고 있습니다. 에처의 물질은 X-Y 및 Z축 동작을 모두 제공하여 최소 패턴 크기 3 초의 정확하고 반복 가능한 기능 패턴을 제공합니다. 물질은 가속도가 높고, 위치 정확도가 우수하며, 부드럽고 조용한 운동을합니다. 공정 환경 또는 전기 마이그레이션 (electromigration) 으로 인한 진공 압력 오류를 완화하기 위해, 에처에는 안정적이고 정확한 성능을 제공하는 초정밀 PID 선형 액츄에이터가 있습니다. 고급 이미징 기능을 통해 신속하게 조정하고 운영 처리량을 향상시킬 수 있습니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS에는 맞춤형 공정 레시피가 장착되어 있으며, 다양한 에치 화학이 가능합니다. 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 모든 매개변수와 레시피를 쉽게 액세스할 수 있으며, 설치/프로세스 제어를 단순화합니다. 또한 실시간 모니터, 시각화 및 에칭 프로세스 조건을 기록하여 반복 가능한 에치 조건을 가능하게 하는 스마트 에로시브 모니터 (Smart Erosive Monitor) 가 내장되어 있습니다. 이 시스템은 또한 고급 자동 조정 알고리즘 (Auto-Tune Algorithm) 을 가지고 있으며, 이는 레시피 설정 (Recipe Setup) 과 조정 (Adjustment) 을 더욱 단순화하여 로컬 또는 전체 제품 라인에서 최적의 성능을 유지합니다. "에처 '는 생산층 이든" R&D' 시설 이든 여러 가지 산업 환경 에서 활용 될 수 있다. 내장형 안전 (Built-in Safety) 기능은 작동을 위한 안전하고 안전한 플랫폼과 저압 (Low Pressure) 또는 전원 중단 시 자동 차단 기능을 제공합니다. TEL Indy Plus는 CE 및 RoHS 규정과도 호환됩니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS는 신뢰할 수 있고 직관적이며 저렴한 에처/애셔로 설계되었습니다. 광범위한 운영 애플리케이션에 이상적이며, 운영 처리량 향상, 정확하고, 반복 가능한 프로세스, 전반적인 탁월한 에칭 (etching) 환경을 제공합니다.
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