판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #9211535
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ID: 9211535
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2009
Vertical furnace, 12"
Main chamber
Heater
Top cover 1 and 2
Back door
Power box
(6) Boxes of accessories
2009 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M etcher/asher는 항공 우주, 자동차 및 마이크로 일렉트로닉스 산업에서 매우 발전된 작업입니다. 견고하고 모듈식 (modular) 설계를 통해 기계는 다양한 유형의 에칭 (etching) 프로세스에 맞게 구성할 수 있습니다. 정확한 패턴화를 위해 다중 영역, 다중 레벨 에칭 시스템이 특징입니다. 이 기계의 주요 특징은 깊고 얕은 에칭을 위해 hydrofluoro alkane (HFA) 과 산소의 가스 혼합물을 미세하게 제어하고 전달하는 능력입니다. HFA는 다양한 혼합 비율 및 압력 수준에서 압력 하에서 공급됩니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 또한 저항기 및 커패시터와 같은 소형 부품의 고정밀 에칭을위한 특허 에칭 기술을 제공합니다. 에칭의 정확성은 모든 생산 프로세스에 필수적이며 TEL INDY는 매우 정확한 에칭을 제공합니다. etching 프로세스의 여러 부분에서 일관된 결과를 얻기 위해 TEL INDY PLUS B-M은 온도, 습도, 시간과 같은 매개변수를 자동으로 조정할 수 있습니다. 이를 통해 최고의 표준을 충족하는 일관된 결과를 위한 일관된 에칭 성능이 보장됩니다. 또한 이 시스템은 일괄 처리 및 최적화된 처리량을 가능하게 하는 소프트웨어 제어 기능을 갖추고 있습니다. 이를 통해 사용자는 특정 프로세스를 프로그래밍하고 각 배치 프로세스에서 매개변수를 사용자정의할 수 있습니다. 배치 프로세스는 또한 빠르고 정확한 부품 선택을 용이하게 합니다. 이 기계에는 습식 및 건식 에칭 기술을 결합 할 수있는 통합 "믹서 모드 (Mixer mode)" 가 장착되어 있습니다. 따라서 에칭 프로세스를 설계할 때 유연성이 높아집니다. 믹서 모드는 최종 제품의 품질도 높여줍니다. 또한 TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M은 다른 에처/애셔에 비해 비교적 낮은 유지 보수입니다. 최소한의 감독 및 모니터링이 필요하며, 그 구성 요소는 지속될 수 있도록 설계되었습니다. 결론적으로, TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-M etcher/asher는 하나의 단위로 모두 정밀도, 유연성 및 신뢰성을 제공하는 고도의 다기능 장치입니다. 항공 우주, 자동차, 마이크로 일렉트로닉스 산업 (microelectronics industries) 과 다른 응용 분야의 에칭 작업에 이상적입니다. 효율적이고 안정적인 이 머신은 최적의 에칭 성능에 적합합니다.
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