판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293825705

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M은 반도체 제조 공정에 사용되는 고도의 에처/애셔 장비입니다. 이 "시스템 '은 집적회로 와 기타" 마이크로일렉트로닉스' 의 생산 에 사용 되는 광범위 한 재료 들 을 위한 정확 하고 균일 한 "에칭 '및" 애싱' 기능 을 제공 하도록 설계 되었다. TEL INDY PLUS-B-M (TEL INDY PLUS-B-M) 의 주요 기능 중 하나는 다양한 유형의 기판 및 재료를 처리하는 다재다능성입니다. 소형 "웨이퍼 '에서 대형" 패널' 에 이르는 크기 의 기판 을 처리 할 수 있어, 반도체 산업 의 여러 가지 응용 에 적합 하다. 이 장치는 또한 실리콘, 이산화실리콘, 질화실리콘, 금속 및 다양한 광소시스트를 포함하여 광범위한 물질을 에칭하고 분쇄 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M에는 고급 플라즈마 생성 기술이 적용되어 기판의 효율적이고 균일 한 처리를 달성합니다. 이 기계는 고밀도 플라즈마 소스 (plasma source) 를 사용하여 반응성이 높은 종을 사용하여 선택성과 정밀도가 높은 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 물질을 생성합니다. 이를 통해 공구는 높은 공정 반복성 (high process repeatability) 과 수익률을 달성하여 반도체 제조에서 일관되고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. INDY PLUS B M (INDY PLUS B M) 은 고급 플라즈마 생성 기술 외에도 고급 프로세스 제어 에셋을 장착하여 최적의 결과를 위해 에칭 및 애싱 매개변수를 세밀하게 조정할 수 있습니다. 이 모델은 가스 흐름 속도, RF 전원, 압력, 온도 등 주요 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링, 제어할 수 있는 사용자에게 친숙한 인터페이스를 제공합니다. 이를 통해 연산자는 각기 다른 재료와 기판의 프로세스 조건을 최적화하여 프로세스 성능 (process performance) 과 수율 (revield) 을 향상시킬 수 있습니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M (TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M) 은 높은 생산성을 고려하여 설계되었으며, 빠른 처리 속도와 짧은 주기 속도를 제공합니다. 이 장비에는 여러 개의 프로세싱 챔버 (processing chamber) 가 장착되어 있어, 여러 기판을 동시에 처리하여 전반적인 생산성을 높일 수 있습니다. 따라서, 이 시스템은 빠르고 효율적인 처리가 필수적인 대용량 운영 환경에 적합합니다. 또한 INDY PLUS-B-M은 유지 보수 및 서비스 용이성을 고려하여 설계되었습니다. 이 장치에는 고급 진단 (Advanced Diagnostics) 및 모니터링 (Monitoring) 기능이 장착되어 있어 다운타임을 최소화하고 시스템 가동 시간을 최대화할 수 있는 사전 예방 유지 관리 및 문제 해결이 가능합니다. 또한 모듈식 (modular) 설계를 통해 중요한 구성요소를 손쉽게 액세스하고 교체할 수 있으며, 유지 관리 시간을 줄이고, 자산의 무중단 운영을 보장할 수 있습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M은 반도체 제조 응용 프로그램을 위해 고성능, 다용도 및 신뢰성을 제공하는 최첨단 에처/애셔 모델입니다. 고급 플라즈마 (Plasma) 세대 기술, 정확한 프로세스 제어 기능, 높은 생산성, 유지 보수 편의성을 갖춘 이 장비는 반도체 업계의 다양한 에칭 및 애싱 (Ashing) 애플리케이션에 적합하므로 반도체 제조업체가 고품질 및 고수율 생산을 달성하기 위해 노력하는 데 없어서는 안될 도구입니다. 고급 마이크로일렉트로닉 장치.