판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293816259

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M은 반도체 제조에서 고성능 웨이퍼 처리를 위해 설계된 고급 기능과 기능을 갖춘 최첨단 확산 로입니다. 이 혁신적인 툴은 정밀 제어 (precision control), 높은 처리량, 탁월한 균일성을 결합하여 업계의 까다로운 요구 사항을 충족시킵니다. TEL INDY PLUS B-M 확산 로에는 웨이퍼 표면에서 정확한 온도 제어를 보장하는 다중 영역 난방 시스템이 장착되어 있습니다. 이를 통해 균일 한 난방 및 냉각주기 (cooling cycle) 가 가능하며, 이는 확산 과정에서 일관되고 신뢰할 수있는 결과를 달성하는 데 중요합니다. 용광로의 온도 범위는 다양한 공정 레시피 (process recipe) 와 재료 (material) 를 수용하도록 조정 할 수 있으며, 다양한 응용을위한 다용도 도구입니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M (TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M) 은 온도 조절 외에도 공정 챔버 내에서 대기를 정확하게 조절 할 수있는 가스 흐름 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 이를 통해 웨이퍼 (wafer) 가 확산 프로세스의 최적 조건에 노출되어 성능 및 수익률이 향상됩니다. 이 용광로에는 가스 누출을 방지하고 프로세스 환경의 무결성을 보장하는 고급 안전 (Advanced Safety) 기능도 포함되어 있습니다. TEL INDY PLUS B M (TEL INDY PLUS B M) 은 처리량이 높아 반도체 제조업체가 품질 저하 없이 생산 용량을 늘릴 수 있도록 설계되었습니다. 이 도구는 여러 웨이퍼를 동시에 수용할 수있는 대규모 프로세스 챔버 (process chamber) 를 특징으로하며, 주기 시간을 줄이고 효율성을 향상시킵니다. 퍼니스는 또한 레시피 관리 (recipe management) 및 데이터 로깅 (data logging) 과 같은 고급 자동화 기능을 갖추고 처리 작업 흐름을 간소화하고 운영자의 개입을 최소화합니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M (Tokyo ELECTRON INDY PLUS B M) 의 주요 장점 중 하나는 다양한 액세서리와의 호환성입니다. 여기에는 보조 가스 전달 시스템, 웨이퍼 처리 로봇, 실시간 프로세스 제어 및 최적화를 지원하는 고급 프로세스 모니터링 도구 (Advanced Process Monitoring Tools) 가 포함됩니다. 용광로는 또한 완전한 반도체 제작 라인에 통합 될 수 있으며, 웨이퍼 (wafer) 준비에서 포장 (packaging) 으로의 원활한 전환을 제공합니다. 전반적으로 INDY PLUS B M은 반도체 제조 응용 프로그램에 탁월한 성능, 안정성, 유연성을 제공하는 최첨단 확산 로입니다. 첨단 기능과 기능으로, 정밀도, 일관성, 효율성이 가장 중요한 대용량 운영 환경에 적합합니다. "반도체 '제조업체 들 은 이 도구 의 기능 을 활용 함 으로써 우월 한 성과 를 거둘 수 있으며, 급속도 로 발전 하는" 반도체' 산업 의 경쟁 에 앞서갈 수 있다.