판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293798907

TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M
ID: 293798907
빈티지: 2010
Furnace Process: AL203 (ALO / ZRO) 2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M은 TEL (TOKYO ELECTRON) 이 설계하고 제작 한 에처/애셔입니다. 에칭 및 애싱 프로세스를 위해 반도체 장치 제조에 사용됩니다. TEL INDY PLUS B-M은 높은 해상도와 뛰어난 성능 기능으로 인해 탁월한 프로세스 성능을 제공합니다. 에처 (etcher )/애셔 (asher) 는 웨이퍼 크기와 프로세스에서 높은 유연성을 제공하여 특정 프로세스에 적합한 도구를 선택할 수 있습니다. 이 도구는 TEL/TOKYO ELECTRON 고유의 고해상도 프로젝션 광학을 사용하여 모든 프로세스 유형에서 우수하고 정확한 오버 에치 (over-etch) 성능을 제공합니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M은 기계 설계 및 소프트웨어 도구를 통해 다양한 에칭 및 애싱 프로세스의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 얕은 트렌치 분리 (STI), DRIE (deep reactive-ion etching), 전도성 및 절연 에칭, 방향 에칭 및 플라스틱 에칭을 포함한 광범위한 에칭 및 애싱 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. TEL INDY PLUS-B-M은 TEL 맞춤형 구성 요소 세라믹 핀 타입 로딩 및 카세트 언로드를 사용하여 사용자에게 향상된 웨이퍼 로딩 및 언로드를 제공합니다. 세라믹 핀 타입 로드 및 언로드 카세트도 웨이퍼 준비와 관련된 다운타임을 줄입니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M (TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M) 은 고해상도 프로젝션 옵틱과 더 나은 오버 에치 성능을 위해 움직임을 정확하게 제어하는 기능 덕분에 에칭 및 애싱 프로세스에서 탁월한 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 웹 기반 현장 서비스 기능을 통해 사용자가 진단 정보에 원격으로 액세스할 수 있습니다. 고급 소프트웨어 (advanced software) 툴을 사용하여 사용자는 해당 프로세스에 적합한 매개변수를 손쉽게 선택하고 시스템 성능을 효과적으로 모니터링할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-M은 견고한 디자인과 안정성이 뛰어난 구성 요소 덕분에 안전하고 신뢰할 수 있는 시스템입니다. 또한 원격으로 모니터링할 수 있습니다. 따라서 사용자는 시스템 문제를 빠르고, 정확하게 진단할 수 있습니다. 결론적으로 TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-M은 고해상도 광학, 정확한 모션 제어 및 신뢰할 수있는 구성 요소 덕분에 탁월한 프로세스 성능을 제공하는 고급 etcher/asher입니다. 또한 원격 모니터링이 가능하며 웹 기반 현장 서비스 기능이 포함되어 있습니다.
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