판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293763487
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 293763487
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2015
Vertical furnace, 12"
Process: Pyro
Air valve: CKD
VOS-56-101PT Heater
Automation system
Process chamber
MFC, MFM: AERA
MAIN / APC: CKD
Gases: HCL, H2, O2, N2
Load lock system
Storage
4-Color signal tower
Carrier transfer
Load port: Side FFU
FIMS Port
Wafer transfer
Boat elevator
Auto shutter
Manufold scavenger
(2) Boat transfers
Boat stage
Manifold
Utility box:
WAVES Controller
GFC Display
Operation panel
Data I/O
Hardware switch
Gas unit
Cooling unit
APC controller
Temperature controller
Vacuum line
Power box:
EMO Unit
Control board
Hardware switch
Transformer
SCR Unit with controller
N2 Purge unit
RF Power
Rapid cooling unit
Pump box
Gas subsystem:
Gas supply unit
Exhaust
Vacuum line
Operating system: Linux
Power supply: 120/480 V, 3 Phase, Single phase
2015 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M은 고정밀, 대용량 마이크로 부품 생산을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 이 장비는 전문 생산 시설을 위해 설계되었으며 마스크, 플레이트 에칭, 애싱 (ashing) 을위한 신뢰할 수있는 공정 제어 장치입니다. 광범위한 습식 (wet) 처리 작업에 대해 정확하고 반복 가능한 결과를 제공할 수 있습니다. 텔 인디 플러스 B-M (TEL INDY PLUS B-M) 은 한 챔버 내에 플라즈마 생성기가 포함 된 멀티 챔버 에칭 셀과 다른 챔버에 포함 된 웨이퍼를 사용하여 작동합니다. 이를 통해 프로세스는 동시에 진행될 수 있으며, 프로세스 매개변수 (process parameter) 에 대해 높은 수준의 제어를 보장합니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M (TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M) 에는 도어 개방, 과온 및 압력, 기타 전자 사고와 같은 작업으로 인한 프로세스 손상을 방지하는 다양한 안전 기능이 있습니다. 또한, 이 시스템은 IEC 61010-1 표준을 충족하여 모든 실험실 환경에서 안정적인 운영을 보장하도록 인증되었습니다. 또한, 이 장치는 95% 의 프로세스 반복 가능성 비율로 매우 효율적입니다. 결과적으로, 이 기계는 높은 처리량 생산 프로세스에 적합하며, 여러 유형의 에칭 프로세스 (etching process) 와 애싱 (ashing) 에 대해 매우 정확한 결과를 생성합니다. 고품질 결과 외에도 INDY PLUS B M은 다양한 편리한 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 예를 들어, 구성 가능한 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 자동화된 에칭 프로세스에 대한 매개변수 프로그래밍과 프로세스 상태를 쉽게 볼 수 있습니다. 또한, 인터페이스는 EDX, Rhythmlogics 등과 같은 다양한 다른 시스템과 연결 될 수 있습니다. 따라서 사내 시스템 및 타사 시스템과의 통합이 가능하므로 유연성이 뛰어납니다. 이 도구에는 전압, 압력, 온도 등 새로운 프로세스 단계 매개변수 (process step parameters) 를 도입할 수 있는 고유한 설계도 포함되어 있습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M은 고정밀, 대용량 마이크로 부품을 만들어야하는 전문 생산 시설에 이상적인 에처/애셔입니다. 이 제품은 신뢰할 수 있는 프로세스 제어 기능, 높은 수준의 반복성 (repeatability), 다양한 시스템에 연결할 수 있는 기능을 제공합니다. 또한, 구성 가능한 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 와 새로운 프로세스 단계 매개변수 (Process Step Parameter) 를 도입하는 기능과 같은 편리한 기능을 제공하여 유연성이 뛰어나고 다양한 시스템 중 하나입니다.
아직 리뷰가 없습니다