판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293670620

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M은 고급 기능을 갖춘 고급 에처/애셔로, 산업 및 과학 응용 분야에 이상적입니다. 91 x 52cm 처리 챔버와 119 x 62cm로 확장 할 수있는 옵션이 있습니다. 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에 최대 120와트의 전력을 공급할 수 있는 전원 공급 장치. 최대 21 개의 웨이퍼를 수용 할 수있는 이중 난방로 및 난방로. 특정 에칭 및 애싱 프로세스에 대해 개별적으로 프로그래밍 할 수있는 여러 RF 생성기 출력. 마이크로파 애싱 기능 (옵션). 고급 압력 시스템 (Advanced Pressure System), 실시간으로 모니터링할 수 있는 옵션, 에칭 및 어싱 프로세스 중 압력을 정확하게 제어할 수 있습니다. 청소 "가스 '의 압력, 온도, 유량 을 조절 하는 능력 을 가진 자동 청소 (automated cleaning). 터치스크린 사용자 인터페이스 (Touch Screen User Interface) 를 통해 사용자는 에칭 (Etching) 및 애싱 (Ashing) 프로세스를 손쉽게 구성하고 프로세스 진행 상황을 모니터링할 수 있습니다. 여러 개의 센서 (온도, 압력, 흐름 속도 등) 를 사용하여 처리 챔버의 상태를 모니터링할 수 있습니다. 미립자 오염 물질을 제거하고 웨이퍼 품질을 향상시키는 데 도움이되는 공기 스크러버 시스템 (air scrubber system). TEL INDY PLUS B-M (TEL INDY PLUS B-M) 은 유지 보수 요건이 낮고 수명이 긴 일관되게 우수한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 또한 명확하고 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 염두에 두고 쉽게 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 수많은 기능으로 인해 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 에서 고급 프로세스 제어에 이르기까지 산업 및 과학 응용 분야에 이상적인 선택이되었습니다.