판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293665668

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M은 반도체 IC 처리 및 장치 제조를위한 제조 시설에 사용하도록 설계된 에처 (asher라고도 함) 입니다. 박막 및 두꺼운 필름 IC를 모두 생성 할 수있는 단일 웨이퍼 공정 도구입니다. 이 장치는 스테인리스 스틸로 구성되며 2 개의 독립적 인 카세트 챔버와 웨이퍼 트랜스퍼 챔버 (wafer transfer chamber) 가 있습니다. TEL INDY PLUS B-M은 하나의 스테이션에서 최대 25 개의 웨이퍼를 동시에 처리 할 수 있으며, 뛰어난 처리량과 탁월한 에너지 효율성을 제공합니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M에는 PLC (Programmable Logic Controller) 와 사용자 친화적 인 터치 스크린 디스플레이가 장착되어 있어 운영자에게 완전한 프로세스 제어를 제공합니다. 프로세스 및 결과는 내장 PC를 통해 추적 및 기록 할 수 있습니다. 또한, 장치를 추가 처리를 위해 외부 컴퓨터와 인터페이스 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-M에는 각각 3 개의 측면 장착 20cm 포드가 포함 된 2 개의 독립 CFEEC (Chemical Flow Etch Engines & Coaters) 장치가 장착되어 있습니다. CFEEC 장치는 각각 최대 8 개의 etch 및 deposit 레시피와 최대 3 개의 oxide thin-film annular etch 작업 옵션을 통해 etch 및 deposition rate를 완전히 제어 할 수 있습니다. 또한, 장치는 완전히 분할되어, 웨이퍼 단위로 프로세스 레시피 단계 및 매개변수를 개별적으로 제어 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M은 많은 고급 프로세스 라인과 응용 프로그램에 통합되도록 구성 될 수 있습니다. "플라즈마 '" 에칭', "스트리핑 '," 패드 캡슐레이션', 금속 증착 등 여러 가지 응용 에 사용 할 수 있는 매우 다양 한 "액세서리 '를 온전 히 사용자 정의 할 수 있다. 또한 일관된 에치 (etch) 및 예금 속도와 매우 높은 반복성을 제공 할 수 있습니다. 전반적으로 TEL INDY PLUS B M은 반도체 IC 제조 및 장치 제작에서 애플리케이션을 위해 사용자 친화적 인 운영, 정확한 프로세스 제어 및 효율적인 운영을 제공 할 것을 약속합니다. 컴팩트 (compact) 하고 강력한 장치로, 모든 생산 시설에 귀중한 자산이 될 것입니다.