판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293656658

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M etcher (asher라고도 함) 는 처리량이 많은 애플리케이션을 위해 설계된 고도의 반도체 처리 도구입니다. 이 장비는 두꺼운 필름 포토레스 (photoresist) 에서 박막 금속 (thin film metal) 상호 연결에 이르기까지 다양한 기판에 대해 뛰어난 제어 및 신뢰할 수있는 정확도를 제공합니다. TEL INDY PLUS B-M etcher의 주요 특징은 KOS (Known Oxidation Strip) 와 MPT (Multi Patterning Technology) 의 두 가지 처리 기술을 결합한 독특한 디자인입니다. KOS 기술 은 고속 "플라즈마 빔 '을 사용 하여" 웨이퍼' 표면 에 있는 유기 오염 물질 을 제거 할 수 있다. 이 과정은 산화물 제거, 산화물 데스 머링 또는 옥사이드 스트리핑과 같은 응용 분야에 이상적입니다. 반면, MPT 기술은 저에너지 빔 (lower-energy beam) 과 고압의 증발 가스를 사용하여 고밀도 패턴을 기판에 에치합니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M은 품질을 유지하면서 처리 시간을 단축하도록 설계되었습니다. 사용자는 컴퓨터 제어 소프트웨어를 사용하여 필요에 따라 에칭 (etching) 설정을 프로그래밍할 수 있습니다. 또한 고급 소프트웨어 루틴 (advanced software routine) 을 통합하여 특정 유형의 애플리케이션에 대한 설정을 빠르고 정확하게 선택할 수 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M에는 패턴 밀도, 타이밍, 가스 유형, 가스 흐름 속도 등의 특정 프로세스에 대한 설정을 선택할 수있는 다양한 옵션이 있습니다. 인디 플러스 B M (INDY PLUS B M) 에는 에칭 프로세스를 제어하고 모니터링하는 데 도움이 되는 다양한 주변 장치 구성 요소 및 센서가 함께 제공됩니다. 이 시스템은 웨이퍼 온도를 측정하는 고급 광학 피로미터 (advanced optical pyrometer) 를 포함하고 있으며, 따라서 에칭 매개변수를 정확하게 조정할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 충돌 방지 기계 (Anti-collision machine), 잠재적 인 고전압 호 (High Voltage Arc) 로 재해를 방지하는 센서, 문제가 발생할 때 운영자에게 알리는 경보 도구 등 다양한 안전 기능이 있습니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-M etcher는 신뢰할 수 있고 정확한 에칭 자산을 찾는 반도체 회사 및 연구 기관에 이상적입니다. 이 제품은 다양한 기판 (기판) 을 처리할 수 있는 뛰어난 처리량과 정확성을 제공하여 다양한 어플리케이션을 위한 이상적인 툴이 되었습니다 (영문).