판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293649725

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M은 TEL에서 개발 한 고급 에칭 장비로, 최고 수준의 에칭 정확도, 속도 및 정밀도를 제공합니다. 반도체· 연구기관· 대학 등에 이상적이고 효율이 높고 신뢰성이 높은 시스템이다. 반도체· 연구기관· 대학· 대학 등은 처리량을 높이고 정확성을 높이고자 한다. 텔 인디 플러스 B-M (TEL INDY PLUS B-M) 은 나노 계에서 얕은 참호, 미세한 결함 및 격리 영역을 에칭하는 등 광범위한 응용 프로그램을 수행 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M 장치에는 에처, 애셔 및 서셉터의 3-in-1 조합이 있습니다. 각 3 가지 핵심 구성 요소는 모든 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에서 최적의 성능을 보장하기 위해 고급 기술을 갖추고 있습니다. 이 기계에는 정밀 높이 센서 (precision height sensor) 가 포함되어 있어 에칭 전후의 조각을 저장하기 위한 대형 멀티 플레이트 스토커 (multi-plate stocker) 뿐만 아니라 정확한 에칭 높이를 보장합니다. 도쿄 일렉트로닉 인디 플러스 B M (TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M) 에는 표면 품질 및 에칭 깊이를 향상시키는 화학 기계 연마 도구와 정밀한 가스 분포를 보장하는 진공 도구가 장착되어 있습니다. 첨단 에처 (Advanced Etcher) 는 0.5um의 정밀도를 보장하며, 애셔 에셋에는 고속 에칭 및 애싱 (ashing) 작동을 보장하는 고속, 고용량 기능이 장착되어 있습니다. 최대 애싱 속도 333 웨이퍼/시간 (wafer/hr) 과 정확도 (0.5 m) 로이 모델은 광범위한 에칭 요구를 충족 할 수 있습니다. 또한 INDY PLUS B-M 은 데이터 및 보고 정보에 대한 액세스를 개선하는 완전 자동화 기능을 제공합니다. 이 장비는 자가 진단을 통해 잠재적 인 에칭 (etching) 프로세스를 감지하여 실시간 수정 및 피드백을 가능하게 합니다. 즉, 중앙 집중식 콘솔에서 매개변수를 손쉽게 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 또한, 고급 소프트웨어 및 제어 시스템은 에칭 프로세스 전반에 걸쳐 정확한 제어 및 유연성을 제공합니다. 전반적으로 INDY PLUS-B-M은 최첨단 정밀도 및 정확도 기능을 제공하는 고급적이고 신뢰할 수있는 에처, 애셔 및 서셉터 시스템입니다. 다재다능하고 사용자 친화적 인 설계로 인해 반도체 제조 작업 (semiconductor manufacturing operation) 이나 연구 실험실 (research laboratories) 이든, 많은 응용 에칭 프로세스에 이상적인 선택이되었습니다.