판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293643275

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TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M
판매
ID: 293643275
Furnace, 12" Process: HfOx Load lock system KAWASAKI W/T Robot 2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M은 반도체 장치 제조 및 기타 관련 산업에 사용되는 에처/애셔 유형 도구입니다. 이 도구는 다양한 유형의 컴포넌트 (component) 와 재료 (material) 의 생산 및 연구에 사용되는 상용화된 도구입니다. 이 도구는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 매우 정확하고 제어할 수 있는 여러 기능을 갖추고 있습니다. 빠른 동작 (Rapent Operation) 을 가능하게 하는 고주파 (High Frequency) 작동 모드와 정확하고 정확한 에칭 (Etching) 및 애싱 (Ashing) 을 위한 저주파 (Low Frequency) 모드가 있습니다. 이 도구에는 드리프트 방지, 빔 이동/스캔, 가스 펄싱 (gas pulsing) 과 같은 여러 가지 다른 기능도 있습니다. TEL INDY PLUS B-M은 최대 700 nm에서 에칭 및 애싱 할 수 있습니다. 이 도구의 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기능은 높은 주파수 작동 및 드리프트 방지 특성으로 인해 매우 정교하고 정확하며 정확합니다. 또한, 최소한의 손상과 왜곡으로 훌륭한 부품을 에칭 (eching) 하고 재시 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M은 자동 플라즈마 분사를 특징으로하며, 이는 고속 및 고속 에칭 및 애싱 프로세스에 사용될 수 있습니다. 이 기능은 작동 시간을 줄이고 기판 제어를 개선하는 데 도움이됩니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-M은 미세 전자 제조, 자동차 및 항공 우주 산업, 생명 공학 및 생의학 산업 등 다양한 산업에서 사용하도록 설계되었습니다. 이 도구에는 샤워 헤드 (showerhead) 와 배럴 유형 (barrel-type) 과 같은 다양한 유형의 챔버 (chamber) 가 장착되어 있으며 다양한 재료 및 공정으로 작업 할 수 있습니다. 결론적으로, INDY PLUS B-M은 다양한 구성 요소, 재료 및 프로세스의 생산 및 연구에 일반적으로 사용되는 etcher/asher 유형 도구입니다. 고주파 동작· 유동방지 (drift prevention) 특성 때문에 정확하고 정확한 도구다. 또한, 미세한 해상도, 최소한의 손상 및 왜곡, 에치 앤 애싱 (eching and ashing) 이 가능합니다. 광범위한 산업에서 사용하기에 적합하며, 자동 플라즈마 주입 기능 (automated plasma injection feature) 은 우수한 기판 제어로 고속 프로세스 응용 프로그램을 가능하게합니다.
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