판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293643274

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M은 반도체 장치 및 부품 제조에 사용되는 반도체 제조 공정을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 이온 에칭, 텅스텐 에칭, 화학 증기 증착 (CVD), RTA (Rapid Thermal Annealing) 및 장치 제조에 사용되는 기타 고급 프로세스와 같은 다양한 프로세스가 가능한 고정밀 에처/애셔입니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 매우 신뢰할 수있는 유전체 막 에처, 정전기 척 및 냉각 냉각 장치가 장착되어 있습니다. 이 조합은 반도체 장치 및 부품을 에칭 및 어닐링하는 데 최적의 효과를 제공합니다. TEL INDY PLUS B-M에는 대형 챔버 크기와 고밀도 에칭 기능이 있으며, 릴리스 당 최대 20 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. etcher/asher에는 프로세스를 자동화하고 생산의 일관성을 보장하는 Smart Process Control이 내장되어 있습니다. 또한 Smart Process Control (스마트 프로세스 제어) 을 사용하면 장비를 실시간으로 모니터링할 수 있으며, 이를 통해 에칭 및 어닐링 프로세스 매개변수를 모니터링할 수 있습니다. 또한, TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M은 다양한 온도 범위에서 사용될 수 있으므로 다양한 응용 분야에 적합합니다. INDY PLUS-B-M (INDY PLUS-B-M) 은 효율적이고 직관적인 사용자 인터페이스로 설계되어 있어 에칭 및 어닐링 프로세스를 손쉽게 탐색할 수 있습니다. 에칭 (etching) 또는 어닐링 (annealing) 과정에서 발생할 수 있는 문제를 파악하고 진단할 수 있는 고급 진단 시스템도 갖추고 있다. 이 장치에는 에칭 (etching) 또는 어닐링 (annealing) 프로세스를위한 레시피를 저장하는 데이터베이스와 비교 목적으로 테스트 결과를 저장할 수있는 기능이 있습니다. TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-M (TOKYO INDY PLUS B-M) 은 챔버 입구 근처에 있으며 특정 에칭 및 어닐링 응용 프로그램을 위해 쉽게 삽입 할 수있는 여러 이온 소스를 특징으로합니다. 에처 (etcher )/애셔 (asher) 는 또한 운영자의 안전을 보장하고 사고가 발생하지 않도록 고급 안전 기계를 갖추고 있습니다. 또한, 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 검사 및 교정 소프트웨어를 다양한 재료를 올바르게 처리하는 데 필요한 다른 매개변수에 맞춘 자동 공구 (automatic tool) 교정이 장착되어 있습니다. 전반적으로 INDY PLUS B-M은 고급 반도체 제조 공정을 위해 설계된 신뢰할 수있는 고정밀 에처/애셔입니다. 이 제품은 장치 제작에 사용되는 에칭, 텅스텐 에칭, CVD, RTA 및 기타 고급 프로세스에 대해 빠르고 효율적인 프로세스를 제공합니다. 내장 스마트 프로세스 컨트롤 (Smart Process Control) 과 결합된 대용량 챔버 크기와 고밀도 에칭 기능을 통해 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 또한, 자산에는 고급 진단, 데이터 저장 기능, 자동 모델 보정 (Automatic Model Calibration) 이 장착되어 있어 모든 반도체 제조 프로세스에 적합한 선택 사항입니다.