판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293643271

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M은 종합적인 에칭 및 애싱 솔루션을 제공하도록 설계된 중형 배치 에처/애셔입니다. 이 멀티 스테이션 에처/애셔 (etcher/asher) 는 물리적 및 화학적 에칭/애싱 프로세스 모두를 위한 통합 솔루션을 제공하여 최대 6 개의 기판을 동시에 처리 할 수 있습니다. 따라서 처리 속도, 품질, 정확도를 향상시키고, 시간에 따른 반복 (repeatable) 성능으로 일관된 결과를 얻을 수 있으며, 다운타임을 줄일 수 있습니다. 이 에처/애셔는 고속 반응 가속화, 에칭/애싱 (etching/ashing) 조건에 대한 정확한 제어, 고급 프로세스 모니터링 등 다양한 기능을 제공하여 두드러집니다. 사용자에게 친숙한 모든 기능은 터치스크린 LCD 모니터의 직관적인 인터페이스를 통해 제공됩니다. 이 사용자에게 친숙한 시스템을 통해 연산자는 에칭/어싱 (etching/ashing) 프로세스의 실행 매개변수를 쉽게 변경할 수 있으며, 에칭/어싱 레시피의 설정 및 최적화를 위한 단계별 방향을 사용할 수 있습니다. TEL INDY PLUS B-M (TEL INDY PLUS B-M) 은 또한 다양한 에칭/애싱 프로세스에 다양한 가스 소스 및 가스 흐름을 제공하는 뛰어난 프로세스 유연성을 제공합니다. 자동 설정 (Autostop) TM 기능을 사용하면, 설정된 프로세스 시간이 완료된 후 또는 원하는 끝점에 도달했을 때 자동으로 에칭/어싱 작업을 중지할 수 있습니다. 따라서 사용자는 프로세스 조건을 수동으로 모니터링하고 조정하지 않고도 에칭/애싱 (etching/ashing) 수율을 최대화할 수 있습니다. 또한, 고급 온도 조절 시스템은 버려진 샘플의 양을 최소화하면서, 안정적이고 균일 한 에칭/애싱 속도를 보장합니다. 이 에처/애셔는 가장 안전하고 위생을 염두에두고 설계되었습니다. 내장 안전 연동 장치 및 고급 센서를 통해 TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M (Tokyo ELECTRON INDY PLUS-B-M) 은 에칭/애싱 프로세스의 오작동을 안전하게 감지하고 화학 물질 누출 및 배기 배출량을 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 또한, 폐쇄 루프 순환 시스템은 공기 오염 위험을 최소화하며, 자동 클리닝 사이클은 깨끗하고 오염이없는 작업 공간을 보장합니다. 결론적으로 TEL INDY PLUS B M은 중형 배치 에칭 및/또는 애싱 프로세스에 적합한 선택입니다. 이 고급 에처/애셔 (etcher/asher) 는 사용자가 에칭/애싱 요구에 맞게 최적화된 프로세스 매개변수를 설정할 수있는 고급 기능을 제공하며, 내장 안전 기능은 안전하고 안정적인 운영을 보장합니다. 사용자 친화적 인 인터페이스, 유연한 프로세스 옵션, 탁월한 안전 설계를 갖춘 TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M은 가장 까다로운 연구 및 산업 응용 분야에 이상적인 에칭/애싱 도구입니다.