판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M #293818865

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus는 반도체 제조 중 기판 처리에 사용되는 에처/애셔입니다. 이 기계는 게이트 밸브로 분리 된 2 개의 처리 챔버로 구성됩니다. 상단 챔버 (Top Chamber) 에는 소스 재료가 포함되어 있으며 하단 챔버 (Bottom Chamber) 에는 원하는 결과를 얻기 위해 다양한 기술이 연결되어 있습니다. 상단 챔버는 가스 커튼 입구, 재료 분산 장치 및 선형 슬릿 샤워 헤드 (linear slit showerhead) 로 구성됩니다. "가스 '" 커튼' 은 "아르곤 ', 질소 또는 산소 를 포함 하여 여러 가지" 가스' 를 분배 된 물질 에 고속 으로 도입 할 수 있으며, 그 로 인해 균일성 과 층 두께 가 개선 되었다. 재료 분산 장치는 일련의 2 차원 분산 플레이트를 통해 소스 소재를 기판에 분배합니다. 선형 슬릿 쇼어 헤드 (Linear Slit Showerhead) 는 열 확산, 가속 및 정밀 동작 제어의 조합을 사용하여 균일 한 코팅 레이어를 달성합니다. 하단 챔버에는 고해상도 레이저 간섭계 (high-resolution laser interferometer) 가 포함되어 있어 기판의 움직임을 제어할 때 정밀도와 정확도가 높습니다. 이 약실 은 또한 고급 "로봇 '암 을 갖추고 있는데, 그것 은 자동적 으로" 피보팅' 을 하고 기판 을 원하는 위치 로 옮길 수 있다. 이 암은 또한 기질을 오븐 (oven) 으로 또는 오븐 (oven) 으로 옮길 수 있으며, 여기서 최대 1000 ° C의 온도를 사용하여 필요한 경우 기질을 가열할 수 있습니다. TEL TELINDY Plus에는 로드 락 스테이션과 멀티 포인트 전기 테스트 설비가 포함되어 있습니다. 이 로드 락 스테이션 (loadlock station) 은 대기 압력을 바꾸지 않고 챔버 내부에서 가스를 도입하고 대피 할 수 있습니다. 다중점 전기 테스트 설치는 도펀트 레벨, 장치 무결성, 전류 판독값과 같은 표준 전기 테스트 (electrical test) 를 제공합니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 뛰어난 작동 제어 능력을 가지고 있으며 다양한 가스 흐름, 온도, 압력, 이동 및 전원 수준을 제공합니다. 또한, "기판 '위치 와 정밀 한 증착 을 제어 할 수 있어서 처리 중 에도" 기판' 이 평평 하게 유지 된다. 이 기계는 반도체 (반도체) 업계에서 사용하기에 적합하며, 신뢰성과 정확성에 매우 적합합니다.