판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M #293656320

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M은 최첨단 3D 에칭/애싱 도구입니다. 견고한 디자인, 뛰어난 에칭 및 재싱 정확도, 정확성을 갖추고 있으며 오늘날의 반도체 장비 (Semiconductor Equipment) 제조업체의 요구를 충족시키기 위해 개발되었습니다. TEL Indy Plus-A-M (TEL Indy Plus-A-M) 을 사용하면 프로세스 변경이 적고 주기 시간이 단축되어 웨이퍼를 에치 및 재싱 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M은 다양한 에칭 및 애싱 응용 프로그램뿐만 아니라 고급 도핑, 레이어 전송, 어닐링 프로세스 및 두꺼운 필름 에칭에도 적합합니다. 이 도구에는 LOBOTRON ™ (Laser Optical Beam Optical Tron) 과 기계화 반사기 (MR) 가 장착되어 있습니다. LOBOTRON ™ 을 사용하여 Indy Plus-A-M은 견고한 디자인으로 인해 레이저 초점 오류가 감소하여 에칭/애싱을 수행 할 수 있습니다. 또한, MR 기술 덕분에 직접 처리 (예: 높은 종횡비 에칭/애싱) 는 낮은 프로세스 변동성으로 달성 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M은 초고해상도 프로세스의 경우 웨이퍼를 최대 5 ° m, 고해상도 애플리케이션의 경우 최대 9 mm 까지 처리하는 기능을 포함하여 광범위한 프로세스 기능을 제공합니다. 또한 다양한 유형의 금속, 플라스틱 및 산화물 재료, 결정질/비정질 재료에 대한 반복 가능하고 강력한 에칭/애싱 (etching/ashing) 을 사용자에게 제공 할 수 있습니다. TEL Indy Plus-A-M은 제조 비용을 줄이고 생산성을 향상시키도록 설계되었습니다. CLC (Closed-Loop Control) 기능은 장기적인 반복성을 위해 정확한 에칭/애싱 성능을 제공합니다. 또한 프로세스 매개 변수의 실시간 피드백을 제공하여 일관된 제품 품질을 보장합니다. 또한, 자동화된 사전 조건 지정 (preditioning) 기능은 원하는 프로세스 끝점을 유지하면서 etch 시간을 단축하는 데 도움이됩니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M (Tokyo ELECTRON Indy Plus-A-M) 은 낮은 소유 비용으로 고급 에칭 및 애싱 프로세스가 필요한 사용자에게 이상적인 솔루션입니다. 이 툴의 간편한 사용자 인터페이스, 경제성, 내장형 안전 (Safety) 기능을 통해 오늘날의 반도체 업계를 위한 완벽한 툴이 될 수 있습니다. 생산수익을 높이고, 폐기물을 줄이고, 제품의 품질을 향상시키려는 제조업체에 이상적입니다.