판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M #293622680

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M은 반도체 제조 장비의 제조업체이자 글로벌 유통 업체 인 TEL Ltd.에서 만든 화학 에처 및 애셔입니다. TEL Indy Plus-A-M은 산화물, 질화물, 금속 및 중합체를 포함한 다양한 물질에 대한 배치 에칭 및 애싱 서비스를 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 와퍼 투 웨이퍼 (Wafer-to-Wafer) 프로세스 제어를 제공하며, 고급 컴퓨터 유도 컨트롤러 및 로봇을 사용합니다. TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M에는 3 개의 챔버와 6 개의 공정 모듈과 추가 가스 분배 패널이 장착되어 있습니다. 첫 번째 방은 에치 챔버 (etch chamber) 로, 원치 않는 물질을 탈피하고 산, 염기 또는 반응성 가스로 특징을 선명하게 만드는 데 사용됩니다. 두 번째 챔버 (ashing chamber) 는 애싱 챔버 (ashing chamber) 로, 산소 또는 질소 기반 플라즈마를 사용하여 얇은 층의 물질을 빠르게 제거하여보다 빠른 처리와 더 일관된 마무리를 가능하게합니다. 제 3 챔버 는 "펌프 '모듈 인데, 이것 은 화학 물질 과" 가스' 의 흐름 을 주 의 깊이 조절 하는 데 사용 되고 "펌프 '의 대기 와 기질 의 무결성 을 유지 하는 데 도움 이 된다. 인디 플러스 -A-M (Indy Plus-A-M) 의 내부 컴퓨터 유도 컨트롤러는 정확하고 반복 가능하며 안전한 결과를 위해 온도 및 압력, 기타 작동 매개변수를 제어합니다. 로봇 암 (robotic arm) 은 프로세스 할 기질의 정확한 이동 및 배치를 제공하여 처리량을 극대화하고 다운타임을 최소화합니다. 이 시스템은 또한 다양한 레시피를 제공하여 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M은 실리콘, III-V, 폴리머 및 금속을 포함한 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. 미니 (375mm), 중간 (450mm) 및 최대 (525mm) 버전으로 제공되며 최대 5.25 인치 직경의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. TEL Indy Plus-A-M (TEL Indy Plus-A-M) 에는 Adaptive Process Monitor가 있습니다. 이 모니터는 에칭 및 애싱 매개변수를 자동으로 조정하여 처리 중에 발생할 수 있는 비균일성을 제거합니다. TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M (TOKYO Indy Plus-A-M) 은 신뢰할 수 있는 다용도 에처 및 애셔로, 일관된 결과로 고밀도 기판을 에치 및 재로 설정해야 하는 고객에게 엄청난 가치를 제공합니다. 다양한 처리 옵션 (고객의 요구에 맞게 맞춤 구성 가능) 을 제공하며 TOKYO ELECTRON (방대한 고객 서비스 전문가) 이 지원합니다.