판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M #293591864

ID: 293591864
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2013
Furnace, 12" Process: Low temperature nitride Does not include Hard Disk Drive (HDD) 2013 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M은 반도체 생산에 최적화된 고급 에처/애셔입니다. 가장 얇은 유전층 (dielectric layer) 에서 가장 두꺼운 금속 층 (metal layer) 까지 다양한 유형의 기판을 처리 할 수 있으며, 더 작은 패턴 치수로 우수한 정밀도를 유지할 수 있습니다. 사용이 간편하고 유연한 시스템 설계를 통해 고급 프로세스 개발 (process development) 과 대용량 생산 (high-volume production) 모두에 적합합니다. TEL Indy Plus-A-M의 가장 중요한 기능 중 하나는 RPD (Rapid Process Development) 기술입니다. 이 장비는 고속 에칭 처리 시간 (etched processing time) 이 가능하여 사용자가 최적화된 에칭 프로세스를 빠르게 개발할 수 있습니다. 에처는 또한 공정 매개변수 에칭 (etching process parameters) 에 대한 높은 정밀도 제어를 제공하여 반복 가능한 결과를 낳습니다. 또한 영화 균일성과 재생성을 최적화하는 여러 가지 기술을 제공합니다. TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M은 진공 기반 에칭 응용 프로그램을위한 고급 진공 기술도 갖추고 있습니다. 이 시스템은 최대 5x10-2mbar (최대 5x10-2mbar) 의 높은 진공 압력 기능을 갖추고 있으며, 가장 얇은 층의 재료를 에칭할 수 있습니다. 또한, 고급 진공 기술 (advanced vacuum technology) 은 가스 확산을 최소화하고 필요한 낮은 에칭 온도를 유지하며, 이는 성공적인 에칭 프로세스에 중요합니다. 우수 에칭 (etching) 결과 외에도 고급 자동 로드 (Automatic Load) 및 언로드 머신 (Unload Machine) 과 같은 고급 안전 시스템 (Advanced Safety System) 이 장착되어 기판의 안전하고 효율적인 처리를 보장합니다. 온도, 압력 등 모든 공구 매개변수를 필요에 따라 쉽게 모니터링, 조정할 수 있습니다. 이것은 훌륭한 에칭 결과를 제공하면서 오류의 위험을 줄입니다. 또한 Indy Plus-A-M 은 신뢰성이 높으며 장기간 운영 실행을 통해 성능 일관성을 제공합니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M은 반도체 생산에 최적화되어 안정적이고 고정밀 에처/애셔입니다. 강력한 기능은 빠른 프로세스 개발, 높은 정밀 제어, 뛰어난 필름 균일성, 그리고 성공적인 제작 실행을위한 재생성을 촉진합니다. 고급 안전 시스템 (Advanced Safety Systems) 은 안전한 처리를 보장하며, 자산의 정상적인 성능 일관성은 반도체 생산의 까다로운 환경에 적합한 선택입니다.
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