판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy IRAD #9211646

TEL/TOKYO ELECTRON Indy IRAD는 반도체 제조 장비의 주요 공급 업체 인 TEL이 설계 한 에처 및 애셔입니다. 이 최첨단 에처 (etcher) 와 애셔 (asher) 는 반도체 제조업체가 에칭 시간을 크게 단축하면서 최고 수준의 표면 마무리 품질을 달성하도록 설계되었습니다. TEL Indy IRAD etcher 및 asher는 독특한 에치 캐비티 디자인으로 인해 균일 한 에칭이 가능합니다. 이 독특한 설계를 통해 프로세스 제어, 균일성 (unifority), 반복성 (repeatability) 이 향상되었으며, 이는 고품질 마감 제품을 생산하는 데 중요합니다. 이 디자인은 또한 에치 (etch) 시간을 줄이면서 에치 깊이를 보장합니다. 특히 STI (Shallow Trench Isolation) 에칭과 같은 중요한 에치 프로세스에서 중요합니다. TOKYO ELECTRON Indy IRAD는 또한 소스 기술을 사용하여 최대 에칭 전력 및 프로세스 제어를 제공합니다. 소스 기술은 에치 타임 (etch time) 을 최소화하면서 에치 빔의 효과를 극대화하는 데 도움이됩니다. 또한 에칭 프로세스가 안전하고 일관성을 보장하며, 에치 (etch) 균일성과 반복성을 높이는 데 도움이됩니다. Indy IRAD는 또한 완전한로드/언로드 장비를 갖추고 있습니다. 이 "시스템 '은" 카세트' 에서 "웨이퍼 '를 옮기고, 자동화 된" 웨이퍼' 정렬 을 하고, "웨이퍼 '를 챔버' 에 적재 할 수 있다. 이 장치는 신뢰성이 매우 높으며, 수작업 오류를 제거하여 매우 정확한 에치 (etch) 프로세스를 보장합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Indy IRAD에는 최종 지점 결정기가 내장되어 있습니다. 이 도구는 에치 프로세스 (etch process) 가 완료되었는지 여부 (etch process) 를 결정하기 위해 에칭된 물질의 총량을 정확하게 결정합니다. 자산은 또한 프로세스 생산량을 향상시키고 에치 시간을 줄입니다. 마지막으로, TEL Indy IRAD (TEL Indy IRAD) 는 여러 처리 단계의 필요성을 줄이기 위해 설계되었으며 다양한 에칭 응용 프로그램과 함께 사용할 수 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 쉽게 제어하고 프로그래밍할 수 있으며 프로세스 시간을 단축할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Indy IRAD (TOKYO ELECTRON Indy IRAD) 는 안전하고 깨끗한 방 환경에서 사용되므로 프로세스 안정성과 효율성을 높일 수 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 Indy IRAD는 에칭 및 애싱 응용 프로그램에 이상적인 선택이 될 수 있습니다.