판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #9402690

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L은 TEL이 설계하고 설계 한 고급 플라즈마 에처/애셔입니다. 이 에처는 다층 반도체 장치, 유전체, 금속 등 다양한 기판의 고 처리량 플라즈마 에칭을 위해 특별히 설계되었습니다. TEL Indy-I-L (TEL Indy-I-L) 은 고해상도 자동 정렬 장비, 고속 샘플 운반 로봇 및 기판 및 필름의 플라즈마 에칭을위한 고급 플라즈마 소스를 갖춘 완전 통합 에처입니다. TOKYO ELECTRON 인디 -I-L (TOKYO Indy-I-L) 은 다양한 필름 및 기판에 걸쳐 높은 에치 레이트 (etch rate) 및 선택성을 제공하도록 설계되었으며, 에처는 높은 정확도와 균일성을 가진 장치의 제작에 사용될 수 있습니다. 고속 샘플 (high-speed sample) 운반 로봇은 서로 다른 형상을 가진 대형 기판을 빠르고 정확하게 처리 할 수있는 반면, 자동 정렬 시스템은 패턴 인식 (pattern recognition) 과 기판 등록이 정확한지 확인합니다. 이 장치 는 또한 고급 "플라즈마 '원 을 보유 하고 있는데, 이것 은" 에칭' 력 과 "가스 '를 대단 히 많이 전달 할 수 있다. 인디 -L (Indy-I-L) 의 고급 프로세스 제어 및 진단 기계는 플라즈마 온도, 압력, 전력 및 가스 흐름 속도를 포함한 에칭 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 이를 통해 엔지니어는 에칭 (etching) 매개변수를 정확하게 제어하고 필요한 경우 즉시 매개변수를 조정하여 최고 품질의 에칭 프로세스를 보장할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L은 시뮬레이션 도구와도 완벽하게 호환되므로 엔지니어가 실제 처리 전에 에칭 프로세스를 테스트하고 시뮬레이션 할 수 있습니다. 이를 통해 엔지니어는 에칭 (etching) 프로세스의 성능을 극대화하기 위해 필요한 데이터와 정보를 가질 수 있습니다. TEL Indy-I-L은 높은 처리량 에칭 프로세스가 필요한 반도체 제조업체 및 연구 연구소에 이상적인 솔루션입니다. 고급 기능, 유연성 및 호환성을 통해 TOKYO ELECTRON Indy-I-L은 고급 연구 및 장치 제작에 적합한 선택입니다.