판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #9394964

TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L은 중간 처리량, 다중 플랫폼 에처 및 애셔입니다. 금속, Si, 화합물 및 유전체를 포함한 다양한 물질에 사용할 수 있습니다. 응용 프로그램에는 웨이퍼 클리닝, 예금 및 에칭이 포함됩니다. 다재다능하고 적응력이 뛰어나므로 사용자는 3 차원 각도 에칭 및 백사이드 애싱을 사용할 수 있습니다. TEL Indy-I-L은 230mm, 300mm 및 450mm 웨이퍼 직경을 사용하므로 다양한 응용 분야에 적합합니다. 3 개의 전기 자기 밸브 채널 매칭 액츄에이터 (EVMA) 어셈블리가 장착되어 있어 높은 정확도와 처리 속도가 가능합니다. 긴 수명의 플라즈마 소스는 다양한 유형의 재료 증착 및 에칭 (etching) 프로세스에 대한 최적의 성능을 보장합니다. 내장 된 챔버 온도 조절 장비 (chamber temperature control equips) 는 다양한 에칭 온도를 가능하게하여 정확한 에칭을 제공합니다. TOKYO ELECTRON Indy-I-L에는 SiGe/Si 증착 및 고온 LPCVD와 같은 빠른 고온 공정이 가능한 고온 증착 시스템도 포함되어 있습니다. 이 기능은 인상적인 균일성을 유지하는 데 도움이되는 전자기 펌프에 의해 지원됩니다. 뿐만 아니라, 에처/애셔 (etcher/asher) 는 질소 계단식 장치를 특징으로하며, 이는 노바 쿠움 가스가 절연되고 깨끗한 챔버가 실현되도록 보장합니다. Indy-I-L은 안전과 관련하여 풍부합니다. 안전 보호 기능 (Safety Protection Function) 을 갖추고 있어 수술 전후 챔버를 제거하여 최고 수준의 안전 (Safety) 을 보장합니다. 이 기계는 또한 비상시 기계를 즉시 멈출 수 있는 비상용 정지 (Emergency Stop) 버튼을 사용합니다. 마지막으로 TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L은 운영 및 유지 보수 측면에서 유연합니다. 사용자 인터페이스에는 Touch Panel, Graphical Menu, Cloud Storage (그래픽 메뉴) 기능이 장착되어 있어 사용자가 설정과 레시피를 저장하여 운영 및 유지 보수가 매우 간편하고 간편합니다. 전반적으로 TEL Indy-I-L은 높은 정밀도, 큰 처리량 및 다양한 에칭/애싱 프로세스가 필요한 사람들에게 이상적인 에처/애셔입니다. 견고하며 사용자가 필요로 하는 정확성과 안전성을 제공합니다. 또한 사용자 친화적인 기능을 통해 사용자는 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 애플리케이션에 신속하게 대응할 수 있습니다.