판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #9394962

TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L
ID: 9394962
웨이퍼 크기: 12"
Furnace, 12" LT ALD SiN.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L은 가스 및 물리적 에칭을위한 컴팩트하고 비용 효율적인 솔루션을 제공하는 에처/애셔입니다. 이 제품은 높은 수준의 유연성과 다용성을 제공하도록 설계되었으며, 폴리머 (polymer), 유전체 (dielectric), 금속 (metal) 및 기타 재료의 에칭 (etching) 을 포함한 다양한 에칭 작업을 처리 할 수 있습니다. 이 기계는 최대 300mm 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있으므로 중소 규모 (SMB) 의 제조 작업에 이상적입니다. TEL Indy-I-L의 주요 에칭 과정은 염소라는 특수 가스를 사용하여 수행됩니다. 기계는 에칭 챔버 (etching chamber) 에 가스를 주입하여 정확한 압력을 생성하는 2 개의 주입 노즐로 구성됩니다. 그 결과, "웨이퍼 '의 사방 에서 표적 이 된 물질 을 균일 하게 에칭 하는 것 이 달성 된다. 압력, 온도, 타이밍 등의 에칭 매개변수는 PC 기반 사용자 인터페이스를 사용하여 정확하게 조정할 수 있으며, 다양한 에칭 (etching) 옵션을 제공합니다. "에칭 '과정 은 또한 연마제" 스퍼터링' 및 "레이저 에칭 '과 같은 신체적 식각 방법 을 사용 하여 보충 할 수 있다. 예를 들어, 연마 스퍼터링은 금속 표면에서 유기 표면 레이어를 제거 할 수있는 반면, 레이저 에칭은 피트, 구멍, 회로 패턴의 정확한 에칭을 허용합니다. TOKYO ELECTRON Indy-I-L에는 에칭 후 웨이퍼 건조에 사용할 수있는 특수 쿼츠 히터가 장착되어 있습니다. 인디 I-L (Indy-I-L) 은 이온화 사건 (ionization event) 이나 가스 누출 (gas leak) 과 같은 예상치 못한 사건의 경우 운영자 및 장비의 안전을 보장하기 위해 다양한 안전 메커니즘을 갖추고 있습니다. 기계에는 에칭 (etching) 조건의 변화를 감지하는 고감도 센서가 장착되어 있습니다. 변경 사항이 발생하면, 센서가 자동 종료를 트리거하여, 연산자가 적절한 조치를 취할 수 있습니다. 결국, TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L은 다양한 물질에 대한 훌륭한 에처이자 애셔입니다. 유연성과 다양성, 에칭 (etching) 매개변수에 대한 정확한 제어, 그리고 비용 효율적인 가격으로 여러 안전 메커니즘을 제공합니다. TEL Indy-I-L은 SMB (중소, 중견, 성장 기업) 를 위한 안정적이고 효과적인 선택입니다.
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