판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #9394514

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L은 반도체 장치 제작을위한 패턴 링 솔루션을 제공하는 에처/애셔입니다. 전자 빔 광학을 사용하여 반도체 기판에 고차원 정확도 패턴을 만드는 고효율의 자동 SPA (Short Pulse Asher) 장비입니다. 이는 논리, DRAM, ASIC (Application Specific Integrated Circuit) 등의 고해상도가 필요한 복잡한 장치를 생산하는 데 적합합니다. TEL Indy-I-L (TEL Indy-I-L) 에는 다양한 소스, 빔 전송 구성 요소 및 프로세스 도구가 장착되어 있어 단일 시스템에서 다중 계층 노출이 가능합니다. 정적 위치 정확도가 1.5 미크론 미만인 빔 인코딩 센서가 있습니다. 또한 패턴화 된 피쳐에 걸쳐 높은 수준의 균일성을 유지하도록 설계된 노출 제어 장치 (Exposure Control Unit) 가 포함되어 있습니다. 소스에 관해서는, 몇 피코 초에서 몇 마이크로 초에 이르는 짧은 펄스 지속 시간의 레이저 광을 전달 할 수있는 고출력 25kW 마그네트론 (magnetron) 이 장착되어 있습니다. TOKYO ELECTRON Indy-I-L은 전자 빔 노출 제어 기계 외에도 에칭 및 애싱 공정을위한 현장 내 가스 전달 도구를 갖추고 있습니다. 이 자산은 가스 공급 라인 (gas supply line), 배기 모델 (exhaust model) 및 공정 성능을 미세 조정할 수있는 압력 컨트롤러 (pressure controller) 로 구성됩니다. 또한, 2 개의 독립적 인 통합 드라이-에치 챔버 (dry-etch chamber) 가 장착되어 사이드 월 패시베이션 레이어의 에칭, 애싱 및 증착과 같은 다양한 프로세스가 가능합니다. 인디 -I-L (Indy-I-L) 에는 장비 매개변수를 모니터링하고 조정하는 데 사용할 수있는 프로세스 제어 컴퓨터 및 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어는 가스 및 플라즈마 듀티 사이클 (plasma duty cycle) 과 노출 용량의 변화를 허용합니다. 컴퓨터는 또한 다양한 레시피 (레시피) 로 사전 프로그래밍되며, 이 레시피는 프로덕션 라인의 여러 시스템 간에 데이터를 저장하고 전송하는 데 사용할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L은 효율적이고 신뢰할 수있는 에처/애셔로, 반도체 장치의 모든 단계 제작에 적합합니다. 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 수행할 수 있으며, 높은 수준의 정확도로 복잡한 형상을 패턴화할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 쉽게 작동할 수 있으며, 고성능 마그네트론 (Magnetron) 및 가스 전달 시스템 (Gas Delivery System) 이 뛰어난 성능을 제공합니다.