판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B #9390672

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B는 반도체 제조업체에 고정밀도 및 신뢰성 있는 임계 기판 처리를 제공하도록 설계된 에칭 및 애싱 시스템입니다. 학습이 쉽고 사용자에게 친숙한 TEL 인터페이스를 통해 다양한 프로세스 애플리케이션에 대한 사용자 정의 레시피를 지원합니다. TEL Indy-B는 히터/매퍼 (heater/mapper) 와 프로세싱 컴포넌트 (physically connected) 의 두 가지 주요 섹션으로 구성됩니다. 히터/매퍼는 웨이퍼를 정확하게 가열하고 매핑하는 반면, 처리 컴포넌트는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 수행합니다. TOKYO ELECTRON Indy-B는 최적화된 고해상도 영역 매핑 및 전체 웨이퍼 매핑 모드를 갖추고 있습니다. 히터/매퍼 (heater/mapper) 는 사용자에게 정확한 온도 조절을 제공할 뿐만 아니라, 정확한 저항 및 전압 수준을 모니터링 할 수 있습니다. 또한 여러 가스를 지원하여 효율적인 가스 흐름을 보장하고, 고장 또는 결함의 위험을 최소화합니다. Indy-B의 처리 구성 요소는 2 개의 병렬 에치 및 애셔, 2 개의 단일 웨이퍼 애셔 및 단일 웨이퍼 에처를 포함하여 최대 5 개의 챔버를 지원합니다. 처리를 위해 웨이퍼가 균등하게 분산되도록 TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B는 단일 웨이퍼 또는 다중 웨이퍼 레시피를 기반으로 웨이퍼를 자동으로 처리합니다. TEL Indy-B는 직경이 최대 200mm 인 웨이퍼 (wafer) 를 작동시켜 안정적이고 효율적인 에칭 및 애싱 솔루션을 제공합니다. TOKYO ELECTRON Indy-B는 또한 고급 MEMS 테스트 기능을 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 MEMS 구조에 대한 에칭 절차의 효과를 빠르고 정확하게 평가할 수 있습니다. 또한, 사용자는 Indy-B의 포괄적 인 애플리케이션 제품군을 사용하여 다양한 etch 및 ashing 프로세스에 대한 레시피를 개발, 프로그램 및 실행할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 사용자 정의 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 레시피를 개발하여 정확한 애플리케이션 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 텔/도쿄 전자 인디 -B (TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B) 는 임계 기판 처리에서 고성능 및 정밀도를 제공하는 고급 에치 및 애싱 솔루션입니다. 종합적인 애플리케이션 제품군과 종합적인 테스트 기능을 통해 반도체 제조업체에게는 탁월한 에치 (etch) 및 애쉬 (ashing) 를 필요로 하는 완벽한 선택이 가능합니다.