판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B #293591338

텔/도쿄 전자 인디 -B (TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B) 는 정밀도 및 처리량이 뛰어난 고가형 비율 구조와 접촉 구멍을 만들도록 설계된 차세대 생산 에처/애셔입니다. 이 기계는 모듈식 설계 (modular design) 를 특징으로하며, 각기 다른 사용자가 특정 요구에 맞게 기계를 사용자 정의할 수 있습니다. TEL Indy-B에는 Toshiba 2.2MeV 이온 소스와 1.5m x 1.0m 처리 챔버가 장착되어 있으며, 또한 뛰어난 처리율과 에치 레이트를 제공합니다. 에처/애셔는 또한 '터치 프리 (touch-free)' 처리를 제공합니다. 즉, 에칭, 애싱 및 플라즈마 프로세스 중 모든 웨이퍼 처리는 접촉이 없으며 스크래치 또는 섬세한 웨이퍼 또는 장치에 대한 다른 손상을 방지합니다. 또한 강력한 피드백 제어 에칭 (feedback-controlled etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 사용하여 실시간 고급 매칭 알고리즘을 사용하여 높은 처리량에서도 에치 및 애쉬 피쳐의 정확한 정확성을 보장합니다. 강력한 에칭 및 애싱 기능 외에도 TOKYO ELECTRON Indy-B는 다수의 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 소스와 다양한 가스 주입 광학으로 고급 플라즈마 생성 시스템을 제공합니다. 이를 통해 확산 및 CVD 단계를위한 초저류 플라즈마, 에칭 및 애싱 용 고밀도 플라즈마 (plasma) 까지 다양한 플라즈마를 생성 할 수 있습니다. 플라즈마 시스템의 다른 기능으로는 자동 주파수 튜닝, 실시간 가스 매칭, 원격 플라즈마 생성기 등이 있습니다. 인디 -B 에처/애셔 (Indy-B etcher/asher) 의 다양한 기능을 통해 사용자는 높은 화면 비율 구조, 접촉 구멍 및 기타 소형 장치를 매우 정밀하고 처리량으로 만들 수 있습니다. 또한, 모듈식 설계와 강력한 프로세스 제어 시스템 (process control systems) 을 통해 고급 마이크로패브라이션 프로세스를 위한 완벽한 툴이 됩니다.