판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9402687

TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L
ID: 9402687
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
Furnace, 12" Process: N₂O, NH₃, SiH₂Cl₂, SiH₄ deposition PAC Module 2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L은 산업 환경에서 사용되는 다재다능한 에칭 및 애싱 기계입니다. 프로세스 제어 (Process Control) 및 정확도는 가장 높으며, 처리량은 증가하고 결과는 우수합니다. 텔 인디 B L (TEL INDY B L) 은 프로세스 제어 최적화를 위해 다양한 구성으로 설치하기 쉬운 컴팩트 프레임을 기반으로 제작되었습니다. 고급 Quartz/Low-e 멀티 스테이지 진공 시스템을 통해 프로세스 환경을 완벽하게 제어할 수 있습니다. 이 견고한 시스템은 정확한 제어 수준을 통해 일관되고 반복 가능한 결과를 보장합니다. TOKYO ELECTRON INDY B-L은 안정성, 유연성 및 제어를 극대화하는 강력한 Windows 기반 명령 플랫폼으로 구동됩니다. 고급 프로세스 단계 타이머, 개별 버너 온도 제어, 배치 지향 스케줄링 제어, etch 성능 향상을 위한 다양한 옵션 등 중요한 기능을 제공합니다. 사용자 지정 플라즈마, ISM (Independent Spacing Monitor) 제어 등의 추가 기능도 사용자들이 에치 (Etch) 및 애싱 (Ashing) 프로세스를 효과적으로 제어할 수 있도록 해줍니다. TOKYO ELECTRON INDY B L은 반복 가능한 결과를 제공하는 강력한 윈도우 기반 하드웨어 및 소프트웨어 제어 알고리즘에서 지원됩니다. 즉, 다양한 프로세스 변수와 매개변수를 지원하므로 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스를 세밀하게 조정하고 최적화할 수 있습니다. 또한 여러 프로세스 영역, 쿼츠 유리 웨이퍼 스테이징 (quartz glassed-wafer staging) 및 고급 작업 매개변수 (advanced operation parameters) 를 활용하여 광범위한 재료와 기판에서 일관되고 반복 가능한 성능을 보장합니다. 인디 -B-L (Indy-B-L) 은 산업용 에칭 앤 애싱 (eching and ashing) 도구이며, 직관적이고 사용하기 쉬운 명령 플랫폼, 강력한 소프트웨어 및 고급 프로세스 컨트롤로 다양한 산업 요구에 적합합니다. 탁월한 프로세스 제어 성능, 일관성, 반복 가능한 결과를 통해 사용자는 효율성, 품질, 수익성이 향상됩니다.
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