판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9402686

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L은 반도체 애플리케이션을 위해 설계된 고급 에칭/애싱 장비입니다. 10 리터의 대량으로 TEL INDY B L은 동급 최고의 처리량을 제공합니다. 결과적으로 더 빠르고 높은 수율을 달성 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON INDY B-L (TOKYO INDY B-L) 은 온도, 전력 및 기타 매개변수를 제어하여 직경이 최대 150mm 인 웨이퍼의 정확한 에칭 및 재싱을 보장 할 수있는 특수 샘플 처리 알고리즘을 갖춘 정밀 제어 시스템에 의해 구동됩니다. TOKYO ELECTRON INDY B L은 또한 잠재력을 극대화하는 다양한 고급 기능을 제공합니다. 여기에는 고급 가스의 정확한 에칭 및 전달을위한 3 단계 듀얼 노즐 디자인 (3 단계 듀얼 노즐 디자인) 과 안전을위한 통합 가스 격리 장치 (gas containment unit) 가 포함됩니다. "가스 '격납기 에는 안전 한" 가스' 전달 을 위한 "가스 필터 ', 압력 조절" 밸브' 및 "스크러버 '가 들어 있다. 이 도구는 또한 정확한 웨이퍼 에칭 각도와 균일성을 제공하는 통합 레이저 지원 정렬 (laser-assisted alignment) 및 높이 조정 (height adjustment) 에셋을 갖추고 있습니다. Indy-B-L의 내장 소프트웨어는 에칭/애싱 프로세스를 자동화하고 제어합니다. 고급 기능을 사용하면 에칭 과정에서 가스 농도 및 Z축 압력을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한, 소프트웨어에는 에칭 품질을 모니터링하고 분석하는 도구도 있습니다. 이를 통해 사용자는 매개변수를 분석, 조정하여 원하는 결과를 얻어 생산성을 최적화할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L은 사용자가 모든 위치에서 모델을 제어 할 수있는 다양한 원격 작업 기능을 자랑합니다. 여기에는 난방 및 냉각 시스템의 원격 제어, 에칭 (etching) 프로세스 모니터링, 레시피 저장 등이 포함됩니다. 이를 통해 보다 효율적인 에칭 프로세스와 운영자의 안전성 향상이 가능합니다. 전반적으로 INDY B-L은 생산성, 효율성, 안전성을 보장하기 위해 고급 기능이 장착 된 고급 에칭/애싱 장비입니다. 빠른 처리 능력과 정확한 에칭 결과를 통해 반도체 어플리케이션 요구 사항에 이상적인 선택이 됩니다.