판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9402684

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L (TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L) 은 고급 에처/애셔 장비로 사용자가 웨이퍼와 평면 패널 디스플레이를 빠르게 에치 및 애셔 할 수 있습니다. 이 시스템은 초고화질 이미징 기술을 사용하여 일관성 있고 고품질 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 결과를 제공합니다. 고급 스테이지 유닛, 주파수 안정화 가스 흐름, 스크러버 (scrubber) 및 기타 구성 요소의 조합을 사용하여 웨이퍼 (wafer) 및 평면 패널 디스플레이가 완전히 에칭 및 재시됩니다. TEL INDY B L etcher/asher 머신에는 2 개의 챔버, 메인 챔버 및 배기 챔버가 있습니다. 메인 챔버에는 5 축 스캔 스테이지가 장착되어 있으며, 배기 챔버에는 가스 스크러버가 있습니다. 최대 200mm 디아를 처리 할 수 있습니다. 웨이퍼는 한 번에 최대 99 단계까지 처리 할 수 있습니다. 이 도구는 압력 스펙트럼 제어 (Pressure Spectrum Control) 자산을 사용하여 제조 과정에서 챔버 내부에서 최대 32 개의 압력 포인트를 모니터링하고 불규칙성을 조정합니다. 이 모델은 또한 주파수 안정화 된 가스 흐름을 사용하여 에칭 및 애싱 프로세스의 분산을 줄입니다. "가스 '흐름 을 안정 시킴 으로써" 에처 '/" 애셔' 장비 는 특이 한 균일 한 "에칭 '과" 애싱' 의 결과 를 얻을 수 있다. 또한이 시스템은 GCF (Gas Condensing Flow) 장치를 사용하여 고르지 않은 드라이 에칭으로 인한 손상을 줄이기 위해 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON INDY B-L etcher/asher 머신에는 웨이퍼 및 평면 패널 디스플레이 처리에 이상적인 몇 가지 기능이 있습니다. 이 툴은 회전 속도를 조정할 수 있으며, 최대 384 개의 드라이브를 지원할 수 있습니다. 또한, 각 "웨이퍼 '가" 에칭' 과 "애싱 '" 가스' 에 고르게 노출 되게 하는 통합 진공 자산 이 있다. 이를 통해 TEL Indy-B-L은 매우 섬세한 부품을 쉽게 처리 할 수 있습니다. 전반적으로 TEL INDY B-L etcher/asher 모델은 웨이퍼 및 평면 패널 디스플레이를 에칭 및 세척하기위한 강력하고 다양한 도구입니다. 이 장비는 첨단 이미징 기술과 주파수 안정화 가스 흐름 (Frequency-Stabilized Gas Flow) 을 통합하여 고정밀도 (High-precision Result) 를 구현하고, 조정 가능한 회전 속도와 내장형 진공 시스템은 섬세한 부품에 적합합니다.