판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9398278

TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L
ID: 9398278
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2010
Furnaces, 12" 2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L은 반도체 제조에 사용되는 최첨단 에처 또는 애셔입니다. 이 장치는 깨끗하고 일관성 있고 효율적인 방식으로 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 을 용이하게하도록 설계되었습니다. 다양한 금속, 중합체, 심지어 단일 벽 및 다중 벽 탄소 나노 튜브와 같은 다양한 기질을 처리하도록 프로그래밍됩니다. 텔 인디 B L (TEL INDY B L) 은 물리 및 화학 에칭의 결합 된 이점을 사용하여 전반적인 처리량과 수율을 증가시킵니다. 장비의 핵심은 독점 플라즈마 챔버 (plasma chamber) 로, 전기장과 자기장이 균일한 필드를 만들기 위해 이중 슬릿 (double-slit) 디자인을 사용합니다. 이 과정을 더욱 최적화하기 위해 TOKYO ELECTRON INDY B-L (TOKYO INDY B-L) 에는 활성 깊이 제어가 장착되어 깊이를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이렇게 하면 원하는 양의 재료만 제거되고 언더컷 (undercut) 이나 서피스 잔류 (surface residue) 가 제거됩니다. 이 "시스템 '은 고온 과 압력 에서 작동 할 수 있으며, 절단, 탈피, 무늬 및 기타 섬세 한 수술 에 적합 하다. TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L에는 경보 장치 (Alarm Unit) 및 비상 전원 끄기 장치 (Emergency Power-Off Machine) 와 같은 신뢰할 수있는 안전 기능이 장착되어 있습니다. 인디 -B-L (Indy-B-L) 에는 탄탄한 에칭을 보장하고 오염을 줄이기 위해 챔버에 반응성 가스를 가압하고 퍼뜨리는 활성 가스 전달 도구가 있습니다. 오염을 더 줄이기 위해, 자산은 휘발성 유기 화합물 및 기타 공기 오염 물질을 제거하는 고급 공기 정화 (air- purifying) 모델로 제작되었습니다. 다른 기능으로는 자동 정렬, 기판 전송 및 온도 조절이 있으며, 이는 고품질의 균일 한 에칭 및 작동을 보장합니다. 이 장비에는 레시피 설정, 어싱 (ashing) 결과 및 프로세스 로그에 대한 자세한 정보를 사용자에게 제공하는 Job Control 소프트웨어도 있습니다. 이 소프트웨어는 작동하기 쉽고, 생산성을 최적화하는 데 사용할 수 있습니다. 전반적으로 TEL INDY B-L은 일관되고 높은 품질의 결과를 제공하는 고급 에처/애셔입니다. 이 제품은 오염을 줄이고 생산성을 향상시키는 데 도움이 되는 다양한 기능을 갖추고 있으며, 반도체 (semiconductor) 제작을 위한 안정적이고 경제적인 솔루션입니다.
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