판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9395067
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ID: 9395067
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Furnace, 12"
Process: D-Poly
Gases: NH3, DCS, (SiGe), C2H4, HF, 20%F2 with N2, TiCl3 Liquid
Power box
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L은 광범위한 반도체 처리를 위해 일관성 있고 고품질 결과를 제공하도록 설계된 etcher/asher입니다. 240mm SPG (Standard Pattern Generator) 4 단계 전기판이 장착되어 있으며 웨이퍼 쿨러, 모듈 식 스프레이 챔버, 로봇 암과 같은 업그레이드로 사용자 정의 할 수 있습니다. TEL INDY B L은 수평 가스 흐름과 건조 및 습식 에칭 조합 공정을 특징으로합니다. 이를 통해 사용자는 에칭 (etching) 프로세스에서 더 높은 수준의 선택성을 달성할 수 있으며, 에칭 (etching) 레이어의 두께를 보다 밀접하게 제어할 수 있습니다. 이 장비는 또한 다양한 에칭 가스 (etching gase) 를 지원하여 한 단계에서 여러 기판을 에칭 할 수있는 기능을 제공합니다. TOKYO ELECTRON INDY B-L에는 에칭 프로세스의 모든 작업을 자동화하는 ACA (Advanced Control Architecture) 도 있습니다. 이 기능은 처리 시간을 단축하면서 높은 정확성과 반복성을 보장합니다. 사용자는 프로세스 매개변수 및 실행을 정확하게 제어할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L은 다양한 자동 모니터링 기능을 사용하여 최고 품질의 출력을 보장합니다. 여기에는 자동 가스 흐름 제어, 임피던스 제어, 압력 제어 및 물 밀도 제어가 포함됩니다. 이 장치는 또한 사용자가 작업을 신속하게 익힐 수 있도록 직관적입니다. TEL Indy-B-L은 완전한 컴퓨터 제어 및 데이터 모니터링 기능을 제공합니다. 최대 1,000 개의 레시피를 저장할 수 있으며, 운영자의 개입없이 높은 수요 에치 프로세스를 실행하도록 프로그래밍 할 수 있습니다. 또한 사용자는 레시피 정렬, 테이블 배치, 리소그래피 검색, 중요 치수 분석, 표준 편차 최소화 등 최적화된 솔루션을 제공합니다. 마지막으로, Indy-B-L은 자동 화재 방지 도구, 질소 가스 제거 자산, 자동 안전 관련 경고 등 다양한 안전 기능을 제공합니다. 이렇게 하면 모델이 정확하고 안전하게 사용됩니다. 이러한 모든 기능은 종합적인 서비스 및 유지 보수 옵션과 함께 TEL INDY B-L (TEL INDY B-L) 이 안정적이고 고품질 에칭 결과를 찾는 사람들에게 이상적인 선택이 됩니다.
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