판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9394959

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L은 75mm 최대 웨이퍼 크기의 SI 멀티 웨이퍼, 높은 처리량, 배치 처리 에처/애셔 장비입니다. 이 첨단 기술 시스템은 MEMS, SOI, 스트레스 완화, 이방성 및 구리 도금 응용 프로그램과 같은 다양한 에칭/애싱 프로세스에서 탁월한 성능을 제공합니다. 이 장치에는 프로세스 단계에서 전원 및 압력 설정을 효율적으로 관리할 수 있는 전용 연동 제어 머신과 PID 제어 RF 생성기가 있습니다. HMI (Human-Machine Interface) 를 통해 설정을 조정하고, 프로세스 매개변수를 모니터링하며, 관련 프로세스 정보에 액세스할 수 있습니다. TEL INDY B L의 RF 생성기는 전력, 압력 및 주파수를 정확하게 제어하여 매우 정확하고 반복 가능한 에칭/애싱 프로세스를 제공합니다. 이 툴에는 100 개의 자동 레시피 (레시피) 와 각 프로세스 단계별로 데이터 로깅 및 경보 설정 (alarm settings) 이 있습니다. TOKYO ELECTRON INDY B-L (TOKYO ELECTRON INDY B-L) 에는 생산성 향상을 위해 여러 개의 웨이퍼를 동일한 트레이에 적재 할 수있는 멀티 칼럼 디자인이 있습니다. 이 최신 자산에는 TEL 자체 SPA (Spatia Process Automation) 알고리즘이 추가되어 각 챔버 및 웨이퍼에 대한 모델의 프로세스 매개변수를 정확하게 조정합니다. 이를 통해 프로세스 제어 매개변수 (process control parameter) 에 대한 인간의 개입을 줄임으로써 보다 정확하고 반복 가능한 프로세스가 가능합니다. 또한, SPA 알고리즘은 또한 인간의 오류와 실수의 가능성을 줄이는 데 도움이됩니다. 전반적으로 TEL INDY B-L은 매우 정확하고, 반복 가능하며, 효율적인 에칭/애싱 프로세스를 제공하는 고급 멀티 웨이퍼 에처/애셔 장비입니다. 통합 HMI, RF 생성기, 연동 제어 시스템 및 SPA 알고리즘은 사용자에게 운영 프로세스를 크게 개선하기 위해 필요한 모든 도구를 제공합니다.