판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9394957

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L (TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L) 은 웨이퍼 기판을 정확하고 효율적으로 패턴화하기위한 고급 기술로 제작 된 에칭 및 애싱 장비입니다. 이 "시스템 '은 특히 반도체 제조 에서" 에칭' 과 "애싱 '공정 의 기능 을 극대화 하도록 설계 되었다. TEL INDY B L (TEL INDY B L) 은 각 에칭 및 애싱 프로세스에 전용 시스템을 사용하여 기판에서 표적의 제거를 최적화하면서 가스압 및 챔버 온도와 같은 에칭 매개변수를 정확하게 최적화 할 수 있습니다. 이로 인해 기판 수율 및 회로 신뢰성이 향상됩니다. 이 장치에는 각 가스에 대해 최적의 압력 범위 (pressure range) 내에서 작동하는 가스 박스 (gas box) 가 있으며, 에치 선택성 향상을 위해 균일 한 가스 분포를 확보하는 데 도움이됩니다. 도쿄 전자 인디 B-L (TOKYO ELECTRON INDY B-L) 에는 플라즈마 균일성 향상을 위해 안정적이고 균일 한 출력을 위해 설계된 전용 전극 전원 공급 장치도 장착되어 있습니다. 이것 은 "가스 '압력 을 미세 하게 조정 하여" 에치' 를 정확 하게 제어 하는 데 도움 이 되며, 정확 하고 균일 한 결과 를 얻을 수 있다. 또한, 로드 잠금 메커니즘은 간단하고 편리한 웨이퍼 로딩을 허용하면서 에칭 및 애싱 가스의 혼합을 방지합니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L (TELL/TOKYO ELECTRON INDY B-L) 은 각 프로세스 동안 정확한 온도 조절 및 가스 분배를 위해 설계된 고급 제어 기계의 이점을 제공합니다. 이는 웨이퍼의 처리량을 극대화하는 한편, 개선된 결과를 위해 균일 한 엔드포인트 제어를 활성화하는 데 도움이됩니다. 코팅 된 챔버 인테리어는 또한 에칭 중 오염을 예방하여 잠재적 인 장치 생산량을 확보하는 데 도움이됩니다. 또한, 저항 제거 기능이 TOKYO ELECTRON INDY B L 도구 내에 통합되어 기질에서 원치 않는 탄소 잔기를 효율적으로 제거 할 수 있습니다. 그 결과, 제품 생산량 과 기능 이 향상 되고, 유해 화학 물질 의 사용 도 감소 된다. 결론적으로, TEL Indy-B-L 자산은 현대의 고정밀 웨이퍼 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 정교한 에칭 및 애싱 기능을 제공합니다. 이 모델은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스의 기능을 향상시켜 생산량 및 회로 신뢰성을 향상시키는 다양한 기능을 제공합니다.