판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9394956

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L은 반도체 제조 프로세스에 사용되는 차세대 에처/애셔입니다. 업계를 선도하는 저비용 (LC) 솔루션으로 뛰어난 처리량과 WA (Wafer Unifority) 기능을 제공하여 디바이스 비용을 절감하고 전반적인 수익성을 향상시킵니다. TEL INDY B L etcher/asher는 고급 에칭 기술 및 독점 에칭 소스를 사용하여 시장을 선도하는 성능을 제공합니다. 견고한 설계는 신뢰할 수 있는 1 단계 CVD-PVD 프로세스를 기반으로, 단일 도구로 모든 에칭, 불순물 제거, 증착, 이온 이식 단계를 수행할 수 있으며, 주기 시간 및 처리량 효율이 향상됩니다. TOKYO ELECTRON INDY B-L은 반응 시간, 높은 에치 선택성 및 균일성을 가진 저온 플라즈마 에칭에 특히 적합합니다. 다양한 소스 가스, 공정 혼합 채널 및 통합 오븐을 사용하여 다른 프로파일을 프로그래밍하는이 도구는 SiO2/SiN/Si3N4/SiON 필름의 정밀 금속 에칭을 가능하게합니다. 또한, 3 차원 로봇 암을 갖춘 자동화된 웨이퍼 처리 장비는 더 빠른 웨이퍼 로딩 및 스위칭을 보장하는 반면, 고급 데이터 로깅 시스템은 상세한 프로세스 모니터링 및 데이터 수집을 용이하게하여 프로세스 수익률 향상을 지원합니다. Indy-B-L etcher/asher도 배치 처리가 가능하여 여러 웨이퍼의 동시 프로세스가 가능합니다. 또한 오염을 예방하기 위해 입자를 제거하는 자기 소독 장치가 특징입니다. 또한, 자동 척 (automatic chuck) 클리닝 기술이 적용되어 클리닝 주기의 정확성과 생산성이 향상됩니다. 결론적으로, TOKYO ELECTRON INDY B L은 고급 에칭/애싱 머신으로, 높은 처리량 및 프로세스 균일성, 효율성 및 비용 절감, 뛰어난 웨이퍼 균일성, 정확성 및 정확성을 제공합니다.