판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9394500

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L은 강력하고 정밀한 습식 에치/애셔입니다. 이 장치는 에칭 시간과 솔루션을 정확하게 제어하기 위해 설계된 세미 배치 (semi-batch) 습식 장비입니다. 에칭 속도 (etching speed) 와 에치 속도 (etch rate) 와 같은 매개변수에 대한 정확한 화학 솔루션과 정확한 제어가 가능한 완전 자동화 된 기계입니다. 매개변수의 자동 적응을 통해 TEL INDY B L은 미크론 수준의 정확도에 대한 정확한 에칭 결과를 제공 할 수 있습니다. 웨이퍼 가공, 기판 청소, 포토 마스크 마모와 같은 표면 엔지니어링 응용 분야에 이상적입니다. TOKYO ELECTRON INDY B-L은 완전히 자동화되어 있으며 사용자 상호 작용을 최소화합니다. 에칭 과정에서 정확성과 정확성을 제공하는 하향식 비전 (Top-Down) 검사 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 이 장치를 사용하면 실제 에칭을 수행하기 전에 특정 영역을 에치 (etch) 하고 최종 결과의 미리보기 (preview) 를 생성할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L은 하이드로 플루오로 카본, 세제 솔루션 및 고 증발 솔루션과 같은 다양한 에칭 솔루션으로 구성 될 수 있습니다. 또한 사용자는 고온, 저온 및 확장 온도 에칭 중에서 선택할 수 있습니다. TEL Indy-B-L에는 멀티 스테이지 에칭을 허용하는 2 챔버 도구가 장착되어 있습니다. 즉, 사용자는 매개 변수 집합이 같은 다른 기판을 가져올 수 있으며, 첫 번째 챔버 (first chamber) 에서 두 번째 (second) 까지 다른 에칭 기술을 실행할 수 있습니다. 에셋은 또한 소형에서 대형까지, 얇은 기판에서 두꺼운 기판까지 다양한 에치 포트 (etch port) 로 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON INDY B L (TOKYO ELECTRON INDY B L) 의 내장 안전 기능은 민감한 웨이퍼와 기판의 습식 에칭에 이상적인 선택입니다. 여기에는 압력 센서, 온도 센서, 도구 및 사용자를 보호하는 레벨 센서가 포함됩니다. 또한, 비상 정지, 온도 조절, 고속 오염 방지 제어 등 다양한 페일오버 복구 기능이 있습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L은 정확성과 안전을 위해 설계된 강력하고 정확한 습식 에칭 도구입니다. 자동화된 기능, 정밀 제어 (precision control) 및 안전 기능으로 인해 표면 엔지니어링 및 포토 마스크 마비 응용 프로그램에 이상적인 선택이 가능합니다.